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更新時(shí)間：2025-02-24 09:03:37瀏覽次數(shù)：80次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 環(huán)保在線讓您的大尺寸樣品檢測流程更加順暢MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)特別適合尺寸300毫米的晶圓、平板顯示器、電路板、以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測
MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)特別適合尺寸300毫米的晶圓、平板顯示器、電路板、以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測。其采用的模塊化設(shè)計(jì)可讓您根據(jù)需要選擇組件，獲得根據(jù)應(yīng)用定制的系統(tǒng)。
這兩款符合人體工學(xué)設(shè)計(jì)且人性化的顯微鏡有助于在提高工作效率的同時(shí)保持檢測者的工作舒適性。在與奧林巴斯Stream圖像分析軟件結(jié)合使用情況下，可以簡化從觀察到報(bào)告生成的整體工作流。
設(shè)計(jì)滿足電子行業(yè)的人體工學(xué)和安全性要求，并以更多功能提高分析能力。
簡潔的顯微鏡設(shè)置讓用戶調(diào)整和重復(fù)系統(tǒng)配置更加輕松。
我們成熟可靠的光學(xué)器件和優(yōu)良的成像技術(shù)可獲得清晰圖像，并完成可靠檢測。
用戶可利用適合其應(yīng)用的組件進(jìn)行系統(tǒng)定制。
我們的圖像管理功能可為您呈現(xiàn)您真正想要觀察的內(nèi)容。
MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M(jìn)行可靠的缺陷檢測。全新照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項(xiàng)為用戶評估樣品和存檔檢測結(jié)果提供更多選擇。
通過將暗場與諸如明場、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用，MIX觀察技術(shù)能夠獲得的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。暗場觀察所用的環(huán)形LED照明器具有在時(shí)間僅使用四分之一象限的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈，對于樣品表面紋理的可視化非常有用。
半導(dǎo)體晶圓上的結(jié)構(gòu)
半導(dǎo)體晶圓上的光刻膠殘留物
聚光鏡
利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶移動(dòng)手動(dòng)載物臺(tái)上的XY旋鈕即可輕松快速完成圖像拼接—電動(dòng)載物臺(tái)無需進(jìn)行該操作。奧林巴斯Stream軟件利用模式識(shí)別生成全景圖像，讓用戶獲得更寬的視場。
奧林巴斯Stream軟件的景深擴(kuò)展成像(EFI)功能可采集高度超出物鏡焦點(diǎn)深度的樣品圖像，并可將其合成一幅全聚焦圖像。EFI配合手動(dòng)或電動(dòng)Z軸調(diào)焦使用，可輕松實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)可視化的高度圖像。其也可在Stream桌面版（Desktop）離線情況下生成EFI圖像。
采用圖像處理技術(shù)的高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異，從而減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺品質(zhì)，從而有助于生成具有專業(yè)級外觀的報(bào)告。
測量對于品質(zhì)、工藝控制和檢測非常重要?；谶@一想法，即便是入門級奧林巴斯Stream軟件包也融入了交互測量功能的全部菜單，并且所有測量結(jié)果與圖像文件一起保存以便存檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供面向工作流的直觀界面。點(diǎn)擊按鈕一下，圖像分析任務(wù)即可快速精準(zhǔn)完成。在大幅度縮減重復(fù)性任務(wù)的處理時(shí)間情況下，操作人員可以將精力集中在手邊的檢測工作上。
創(chuàng)建報(bào)告所用的時(shí)間常常比采集圖像和測量還長。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀的報(bào)告創(chuàng)建功能，能夠根據(jù)預(yù)先設(shè)定的模板多次創(chuàng)建專業(yè)復(fù)雜的報(bào)告。編輯非常簡單，報(bào)告可導(dǎo)出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奧林巴斯Stream報(bào)告功能能夠?qū)Σ杉膱D像進(jìn)行數(shù)字變焦和倍率放大。報(bào)告文件大小適中，通過電子郵件進(jìn)行數(shù)據(jù)傳遞更加方便。
利用DP22或DP27顯微鏡相機(jī)，MX63系列即可成為的獨(dú)立系統(tǒng)。該相機(jī)采用幾乎不占空間的緊湊型控制盒進(jìn)行控制，在采集清晰圖像以及進(jìn)行基本測量工作的同時(shí)讓實(shí)驗(yàn)室空間得到充分利用。
MX63系列專為潔凈室工作而設(shè)計(jì)，并具有幫助很大限度減小樣品污染或受損風(fēng)險(xiǎn)的功能。該系統(tǒng)采用人體工學(xué)設(shè)計(jì)，可幫助用戶在長時(shí)間使用中保持舒適。MX63系列符合包括SEMI S2/S8、CE和UL國際規(guī)范及標(biāo)準(zhǔn)要求。
選配的晶圓搬送機(jī)可安裝在MX63系列上，實(shí)現(xiàn)無需使用鑷子或工具即可安全地將硅片及化合物半導(dǎo)體晶圓從片盒轉(zhuǎn)移到顯微鏡載物臺(tái)上。的性能和可靠性可實(shí)現(xiàn)安全高效的前后宏觀檢測，同時(shí)搬送機(jī)還可幫助提高實(shí)驗(yàn)室工作效率。
MX63系列可實(shí)現(xiàn)無污染的晶圓檢測。所有電動(dòng)組件均安裝在防護(hù)結(jié)構(gòu)殼內(nèi)，顯微鏡鏡架、鏡筒、呼吸防護(hù)罩、及其他部件均采用防靜電處理。電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的轉(zhuǎn)速比手動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器更快更安全，縮短檢測間隔時(shí)間的同時(shí)，讓操作人員的手始終保持在晶圓下方，避免了潛在的污染。
利用內(nèi)置離合和XY旋鈕，XY載物臺(tái)能夠?qū)崿F(xiàn)對載物臺(tái)移動(dòng)的粗調(diào)和微調(diào)。即便針對諸如300毫米晶圓這樣的大尺寸樣品，載物臺(tái)也可幫助實(shí)現(xiàn)高效的觀察
可調(diào)傾角觀察鏡筒的調(diào)節(jié)范圍可讓操作人員以舒適的姿態(tài)坐在顯微鏡前工作。
該系統(tǒng)可配合各類150–200毫米和200– 300毫米晶圓支架和玻璃板使用。如果生產(chǎn)線上的晶圓尺寸發(fā)生變化，以很少的成本即可更改顯微鏡鏡架。有了MX63系列，各種載物臺(tái)均可用于檢測75毫米、100毫米、125 毫米和150毫米晶圓。
顯微鏡設(shè)置操作簡單，讓用戶調(diào)整和恢復(fù)系統(tǒng)配置更加輕松。
在光程內(nèi)插入聚焦輔助器可以輕松準(zhǔn)確地實(shí)現(xiàn)諸如裸晶圓之類低對比度樣品的對焦。
編碼功能將MX63系列的硬件設(shè)置與奧林巴斯Stream圖像分析軟件整合在一起。觀察方法、照明強(qiáng)度和放大倍率可由軟件自動(dòng)記錄并與相關(guān)圖像一起存儲(chǔ)。由于設(shè)置可輕松復(fù)制，任何操作員經(jīng)過基本培訓(xùn)即可完成相同質(zhì)量的檢測工作。
更換物鏡以及調(diào)整孔徑光闌的控制位于顯微鏡前面較低的位置，因此使用者在使用過程中無須松開對焦旋鈕或?qū)㈩^從目鏡上移開。
對于常規(guī)顯微鏡，使用者每次觀察都需要調(diào)整光強(qiáng)度和孔徑光闌。MX63系列讓使用者能夠針對不同的倍率和觀察方法設(shè)定光強(qiáng)度和孔徑光闌大小。這些能夠輕松調(diào)用的設(shè)置即可幫助使用者節(jié)省時(shí)間又可始終獲得尚佳圖像質(zhì)量。
光強(qiáng)度管理器
自動(dòng)孔徑光闌控制
奧林巴斯研發(fā)高質(zhì)量光學(xué)器件和數(shù)碼成像技術(shù)的悠久歷史成就了具有測量精度的一系列可靠光學(xué)器件和顯微鏡。
物鏡物鏡的光學(xué)性能對于觀察圖像質(zhì)量和分析結(jié)果有著直接的影響。奧林巴斯UIS2高倍率物鏡可很大限度減小波陣面像差，從而獲得可靠的光學(xué)性能。
MX63系列采用高強(qiáng)度白光LED光源進(jìn)行反射和透射照明。無論光強(qiáng)度如何，LED光源均可保持始終如一的色溫，從而實(shí)現(xiàn)可靠的圖像質(zhì)量和色彩再現(xiàn)。LED系統(tǒng)可提供非常適合材料科學(xué)應(yīng)用的高效率、長壽命照明。
與數(shù)碼顯微鏡類似，當(dāng)使用奧林巴斯Stream軟件時(shí)可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)校準(zhǔn)。自動(dòng)校準(zhǔn)有助于消除校準(zhǔn)過程中的人為偏差，保證了更可靠的測量。自動(dòng)校準(zhǔn)采用的算法可根據(jù)多個(gè)測量點(diǎn)均值自動(dòng)計(jì)算正確的校準(zhǔn)值。由此很大限度減小了因不同操作者所導(dǎo)致的偏差，并始終保持穩(wěn)定的精度，提高了常規(guī)驗(yàn)證的可靠性。
奧林巴斯Stream軟件具有解決圖像角落周邊陰影問題的陰影校正功能。在配合強(qiáng)度闕值設(shè)置使用時(shí)，陰影校正可實(shí)現(xiàn)更加精確的分析。
半導(dǎo)體鏡片（二值化圖像）
MX63系列設(shè)計(jì)用于讓用戶能夠選擇各種光學(xué)器件滿足其特定的檢測和應(yīng)用需求。該系統(tǒng)可使用所有觀察方法。用戶還可從一系列的奧林巴斯Stream圖像分析軟件包中進(jìn)行選擇，以滿足其特定的圖像采集和分析需求。
MX63系統(tǒng)能夠檢測尺寸達(dá)200毫米的晶圓，而MX63L系統(tǒng)能夠以與MX63系統(tǒng)相同的較小占用空間，檢查尺寸達(dá)到300毫米的晶圓。模塊化設(shè)計(jì)可讓根據(jù)您的特定需求定制顯微鏡變得更加輕松。
紅外觀察可利用紅外物鏡透鏡實(shí)現(xiàn)，該物鏡能夠通過透射紅外線的硅特性讓操作人員實(shí)現(xiàn)對封裝和安裝在印刷電路板上的集成電路芯片內(nèi)部進(jìn)行非破壞檢測。5X到100X紅外物鏡可實(shí)現(xiàn)從可見光波長到近紅外波長的色差校正。
MX63系列可用于各種反射光顯微鏡應(yīng)用。此類應(yīng)用可作為該系統(tǒng)在工業(yè)檢測應(yīng)用上的一些示例。
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