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白光共聚焦顯微鏡OPTELICS HYBRID+

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更新時(shí)間:2023-02-17 14:40:53瀏覽次數(shù):441次

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產(chǎn)品簡介

日本Lasertec以雙共聚焦光學(xué)系為基礎(chǔ),搭載微分干涉觀察,垂直白光干涉測定,相差干涉測定,反射分光膜厚測定等功能,通常多臺設(shè)備才能完成的測試,僅需一臺設(shè)備即可實(shí)現(xiàn)。

詳細(xì)介紹

日本Lasertec以雙共聚焦光學(xué)系為基礎(chǔ),搭載微分干涉觀察,垂直白光干涉測定,相差干涉測定,反射分光膜厚測定等功能,通常多臺設(shè)備才能完成的測試,僅需一臺設(shè)備即可實(shí)現(xiàn)。

關(guān)鍵詞:激光共聚焦顯微鏡,白光共聚焦顯微鏡,lasertec共聚焦顯微鏡



OPTELICS HYBRID+ 簡介:

日本Lasertec公司推出了Optelics混合共焦顯微鏡,將激光和白光源組合在一體,用于多功能高性能共聚顯微鏡.兩組共焦光學(xué)器件與附加器件相結(jié)合,包括干涉儀,微分干涉對比觀察和光譜反射膜厚度測量儀


集6項(xiàng)功能于一體

應(yīng)用:各種材料的觀察和形狀測量可以進(jìn)行毫米級到納米級的非接觸、

非破壞性形狀測量和觀察。它可以處理廣泛的工業(yè)領(lǐng)域中的各種樣品。

工業(yè)領(lǐng)域:

半導(dǎo)體材料(Si、Sic、抗蝕劑)、器件、電子元件

MEMS、微制造零件、涂層材料

薄膜、有機(jī)/無機(jī)材料、光學(xué)元件、薄膜

生物領(lǐng)域:

微流道

導(dǎo)管、劃痕等異物

可用于從研發(fā)領(lǐng)域接近量產(chǎn)的領(lǐng)域。



功能介紹:

白光共聚焦功能


寬視野觀察提高效率


采用白光光源可以獲取高清全彩圖像,有助于觀察。


激光共聚焦功

高倍率和高分辨觀察

配備波長405nm的半導(dǎo)體激光器、無需預(yù)處理即可清晰采集納米級超精細(xì)結(jié)構(gòu),分辨率堪比電子顯微鏡。



鈮酸鋰 倍率:11000倍 半導(dǎo)體部件 倍率:3700倍


微分干涉功能

納米級凹凸觀察

共聚焦和微分干涉對比(DIC)的組合提供了樣品細(xì)微缺陷的清晰化觀察,可不受背面影響的情況下觀察透明樣品的正面


共聚焦觀察 共聚焦微分干涉觀察



垂直掃描白光干涉功能

毫米視野下的納米級臺階高度測量

高度分布數(shù)據(jù)是通過獲取白光和雙光干涉物鏡在光軸方向掃描時(shí)產(chǎn)生的干涉條紋強(qiáng)度峰值處的z-scale值來計(jì)算的。該方法適用于寬視場測量,因?yàn)槔碚撋显谌魏畏糯蟊稊?shù)的物鏡下都具有相同的高度測量分辨率。


1.5mm視野下44nm的測量 數(shù)um高度下10nm-100nm高度測量


相移干涉測量功能

埃米級臺階高度測量

由于單波長光和兩光束干涉物鏡產(chǎn)生的干涉條紋是基于樣品表面的光程差分布,因此通過相位信息分析使用四個(gè)
相對于光軸不同位置的干涉條紋圖像來計(jì)算高度分布數(shù)據(jù)。


反射光膜厚測量功能

納米級透明膜厚測量

使用波長選擇功能測量6個(gè)波長的反射率,使用光學(xué)模型擬合計(jì)算膜厚。可以測量幾納米到1微米的單層/多層膜厚。由于測量區(qū)域是根據(jù)共焦觀察圖像的,因此可以計(jì)算亞微米微小區(qū)域到幾毫米整個(gè)視場的平均膜厚。此外,由于可以測量每個(gè)像素的膜厚,因此可以測量膜厚分布。


規(guī)格參數(shù):


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