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SE-m 光譜橢偏儀

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更新時(shí)間：2023-02-08 10:21:05瀏覽次數(shù)：363次

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武漢頤光科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

針對(duì)微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量定制的專用型光譜橢偏儀

詳細(xì)介紹

一、概述

SE-m 是一款針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)定制的微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量的專用型光譜橢偏儀，其采用行業(yè)橢偏創(chuàng)新技術(shù)，自主獨(dú)立研發(fā)出行業(yè) 1 超小微光斑探測(cè)測(cè)量技術(shù)， 2 定制超快測(cè)量速度，等技術(shù)?？蓱?yīng)用透明各類襯底上的減反膜、導(dǎo)電膜等薄膜的n/k/d測(cè)量，適用于微區(qū)圖形的各種光學(xué)參數(shù)解析。

二、特色功能

■ 可定制光斑尺寸，最小可達(dá)30um；

■ 超快測(cè)量，單次測(cè)量時(shí)間小于0.5秒 ；

■ 系列配置靈活，支持功能定制設(shè)計(jì)；

■ 結(jié)構(gòu)緊湊，更適應(yīng)在線集成測(cè)量.

三、測(cè)量實(shí)例

微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量