當(dāng)前位置：北京新卓?jī)x器有限公司>>SENSOFAR共聚焦>>Sensofar表面3D輪廓儀S Neox

Sensofar表面3D輪廓儀S Neox

返回列表頁(yè)

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-06-21 22:01:31瀏覽次數(shù)：151次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

  SENSOFAR共聚焦

全部產(chǎn)品列表

暫無(wú)信息

北京新卓?jī)x器有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：11條

所在地區(qū)：

詢價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

認(rèn)識(shí)Sensofar西班牙SENSOFAR公司專業(yè)從事研發(fā)、設(shè)計(jì)和制造光學(xué)表面量測(cè)設(shè)備

詳細(xì)介紹

認(rèn)識(shí)Sensofar

西班牙SENSOFAR公司專業(yè)從事研發(fā)、設(shè)計(jì)和制造光學(xué)表面量測(cè)設(shè)備。從1999年成立至今裝機(jī)超過(guò)900臺(tái)。SENSOFAR開(kāi)創(chuàng)性地將共聚焦和干涉技術(shù)結(jié)合在一起，設(shè)計(jì)和制造了NEOX系列的3D光學(xué)輪廓儀，它是獲得歐洲設(shè)計(jì)金獎(jiǎng)的產(chǎn)品。

其中款的SNEOX具有以下幾點(diǎn)突出優(yōu)勢(shì)：

一、無(wú)二的設(shè)計(jì)，將共聚焦和干涉技術(shù)結(jié)合

SNEOX無(wú)需插拔任何硬件就可以在軟件內(nèi)自動(dòng)實(shí)現(xiàn)共聚焦、白光干涉和Ai多焦面疊加三種功能的切換。使客戶無(wú)需花費(fèi)高昂的費(fèi)用就能同時(shí)擁有共聚焦顯微鏡和干涉儀?？蛻艏磽碛泄簿劢辜夹g(shù)的超高XY軸分辨率0.14um,又有干涉技術(shù)的亞納米級(jí)Z軸分辨率可達(dá)0.1nm及高達(dá)0.1%的測(cè)量重復(fù)性。

二、采用四色LED做照明光源，系統(tǒng)無(wú)耗材

SNEOX采用紅、綠、藍(lán)、白四色LED做照明光源。超長(zhǎng)使用壽命和穩(wěn)定波段的LED保證了設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行，也降低了用戶的使用成本。

傳統(tǒng)共聚焦激光光源只有3000小時(shí)壽命，更換光源需要返廠校準(zhǔn)。

三、的Microdisplay 技術(shù)做到了掃描頭內(nèi)無(wú)運(yùn)動(dòng)部件

SENSOFAR設(shè)計(jì)的Microdisplay技術(shù)解決了共聚焦掃描一直以來(lái)的問(wèn)題即有部件要高速運(yùn)動(dòng)。實(shí)現(xiàn)了既能高速掃描又能避免部件運(yùn)動(dòng)造成震動(dòng)影響精度。

傳統(tǒng)共聚焦掃描頭有一組晶振在振動(dòng)，需要定期校準(zhǔn)。

四、采用3CCD模式，拍攝真實(shí)清晰地圖片

SNEOX使用2442x2048的CCD，使用3CCD模式拍攝彩色圖片即每張彩色圖片都是用紅、綠、藍(lán)三色光源分別照明后獲取圖像，保證每個(gè)像素點(diǎn)都能用RGB三原色去還原圖像，紅綠藍(lán)三色LED交替照明的方式能幫助獲得最真實(shí)和高對(duì)比度的圖像。較短的光波長(zhǎng)可以在測(cè)量時(shí)獲得水平分辨率，較長(zhǎng)的光有更好的光學(xué)相干性，適合干涉掃描的使用。

五、智能編程，自動(dòng)走位測(cè)量

軟件的標(biāo)配智能編程功能，用戶可以很簡(jiǎn)單的實(shí)現(xiàn)定位精確測(cè)量或大批重復(fù)測(cè)量。軟件還可設(shè)置使用權(quán)限。

六、新增AI FOCUS VIRATION功能實(shí)現(xiàn)超快速三維重建

針對(duì)部分用戶需要高速測(cè)量，且測(cè)量精度只需要亞微米級(jí)的需求，SNEOX加入了FOCUS VIRATION功能，Z軸測(cè)量精度小于70nm，只需不到3秒就能完成視場(chǎng)內(nèi)的三維形貌掃描。

七、自動(dòng)形貌拼接、圖像預(yù)覽導(dǎo)航等豐富功能幫助客戶一臺(tái)設(shè)備完成多種應(yīng)用需求。

八、膜厚測(cè)量，薄膜測(cè)量滿足50nm-1.5u測(cè)量需求，厚膜測(cè)量滿足1.5-5mm測(cè)量需求（單層膜）。多層膜測(cè)量需選配光譜反射計(jì)。

九、定制軟件

SensoPro作為一款定制軟件，針對(duì)工廠設(shè)計(jì)，既可以避免人為測(cè)量誤差，又可以批量高速測(cè)量。

使用SensoPro軟件可以在預(yù)先設(shè)置好要測(cè)量和輸出的數(shù)據(jù)的前提下，可以在掃描好樣品表面形貌的同時(shí)，測(cè)量出全部待測(cè)樣品的數(shù)據(jù)。不但可以排除人為測(cè)量誤差，還具備人為測(cè)量不具備的高效率。

二、設(shè)備主要用途

Sensofar 表面輪廓儀S Neox可以通過(guò)白光干涉、相位差干涉、共聚焦、多焦面疊加四種技術(shù)對(duì)表面進(jìn)行3D合成，適用于幾乎所有粗糙度表面樣品的三維量測(cè)。

廣泛應(yīng)用于能源、LCD、微電子、精密加工、光學(xué)器件、半導(dǎo)體元件、鐘表、考古、汽車、電子消費(fèi)品等領(lǐng)域。

三、技術(shù)指標(biāo)

設(shè)備名稱：表面3D輪廓儀

規(guī)格型號(hào):S Neox

一、硬件部分

1.1 光源及壽命

長(zhǎng)壽命高亮度4色LED（紅 630nm，綠 560nm,藍(lán) 460nm，白550nm) 50000小時(shí)以上

1.2 相機(jī)及成像

5Mpx：2442x2048 60fps高速相機(jī)；用紅綠藍(lán)三色順序照明獲得真彩照片，圖像色彩及還原性更好

1.3 XY分辨率

0.14µm

1.4 顯微鏡共焦裝置

MicroDisplay設(shè)計(jì)，測(cè)量頭內(nèi)無(wú)運(yùn)動(dòng)部件

1.5 掃描模式

干涉物鏡：白光干涉（CSI）、相位差干涉（PSI）擴(kuò)展相位差干涉（ePSI）、膜厚測(cè)量模式

共聚焦物鏡：共聚焦、連續(xù)共聚焦、共聚焦融合、AI多焦面疊加、膜厚測(cè)量模式

膜厚測(cè)量模式：可以測(cè)量大于50nm透明膜厚度

1.6 物鏡轉(zhuǎn)換器及物鏡

1.6.1 電動(dòng)六孔物鏡轉(zhuǎn)換器

1.6.2 物鏡參數(shù)

鏡頭種類	倍率	數(shù)值孔徑（N.A）	視窗大?。?/span>µm）	工作距離（mm）	橫向分辨率（µm）	Z向分辨率（nm）	支持斜率
干涉物鏡	2.5X	0.075	6750x5640	10.3	1.87	0.01	4
	5X	0.13	3380x2820	9.3	1.08	0.01	8
	10X	0.30	1690x1410	7.4	0.46	0.01	17
共聚焦物鏡	20X	0.45	840x700	4.5	0.31	8	21
	50X	0.8	340x280	1.0	0.17	3	53