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昆山硅凈凈化工程有限公司


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風(fēng)機(jī)過濾器單元

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1.概述1-1風(fēng)機(jī)過濾器單元風(fēng)機(jī)過濾器單元(FFU)是一種自帶動(dòng)力、具有過濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝置

詳細(xì)介紹

1.概述

1-1風(fēng)機(jī)過濾器單元

風(fēng)機(jī)過濾器單元(FFU)是一種自帶動(dòng)力、具有過濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝置。

風(fēng)機(jī)從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)HEPA過濾,過濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45m/s±20%的風(fēng)速均勻送出。廣泛用于半導(dǎo)體、液晶制造業(yè)、電子、生物制藥.等行業(yè)。

使用環(huán)境

?周圍溫度:5℃~40℃

?濕度:低于85%RH(沒有濕氣凝結(jié)狀態(tài)下)

?周圍空氣:一般室內(nèi)空氣

?清凈度:100-10級(jí)

?請(qǐng)避免連續(xù)反復(fù)ON/OFF操作機(jī)體

 

如果在未符合上述條件的環(huán)境下使用風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組,將會(huì)影響制品性能,并可能會(huì)發(fā)生電氣短路現(xiàn)象,造成電氣部件損壞,縮短制品使用壽命。

為能安全且有效地使用風(fēng)機(jī)過濾器單元請(qǐng)參閱第4頁的〝重要安全事項(xiàng)〞。






















(2) 表1. 部件明稱及功能(參考圖1)

 


No.

部 品 名 稱

功            用

備  注

1

初效濾網(wǎng)

可有效攔截粒徑≥5um的灰塵

 

2

外殼

設(shè)備外殼

可選優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑,鍍鋅鋁鋼板,鋁板及不銹鋼板等材料

3

把手

方便搬運(yùn)

 

4

吊環(huán)

機(jī)體吊裝

選配件

5

導(dǎo)流消聲裝置

引導(dǎo)氣流及消除噪聲

 

6

風(fēng)機(jī)系統(tǒng)

為設(shè)備提供動(dòng)力

風(fēng)機(jī)可選國(guó)產(chǎn)/中國(guó)臺(tái)灣/新加坡/德國(guó)

7

高效濾網(wǎng)

可過濾微小粒徑的灰塵

效率99.99%@ 0. 3um

可選各種效率的濾網(wǎng)

8

控制系統(tǒng)

調(diào)速及開關(guān)電源

 



2.重要安全事項(xiàng)

不當(dāng)使用風(fēng)機(jī)過濾器單元組將會(huì)造成制品性能降低,使用時(shí)請(qǐng)務(wù)必遵守下列事項(xiàng):

2-1 安裝使用環(huán)境

風(fēng)機(jī)過濾器單元的安裝應(yīng)遠(yuǎn)離加熱器、火爐或其它熱源。

 設(shè)置風(fēng)機(jī)過濾器單元場(chǎng)所不可放置易燃物,以免發(fā)生火災(zāi)。

 請(qǐng)勿在機(jī)體附近使用具爆炸性或揮發(fā)性的化學(xué)物品,如果機(jī)體吸入這些化學(xué)物品將有可能會(huì)導(dǎo)致火災(zāi)或爆炸等事故發(fā)生。

 請(qǐng)勿于機(jī)體附近使用含硫酸、鹽酸、漂白劑及其它具腐蝕性化學(xué)藥品,如果使用這些化學(xué)藥品將有可能會(huì)導(dǎo)致機(jī)體腐蝕及損壞。

 

2-2 運(yùn)送與安裝

 請(qǐng)?jiān)陲L(fēng)機(jī)過濾器單元包裝完好的狀態(tài)下搬運(yùn)制品,搬運(yùn)時(shí)務(wù)必保持水平,如果使用輕便推車等工具運(yùn)送時(shí),請(qǐng)選用車臺(tái)超過機(jī)體包裝寬度的推車。

 機(jī)體安裝后,機(jī)體上方至少須預(yù)留30公分以上的空間,以利將來機(jī)體維修,未預(yù)留足夠的維修空間,機(jī)體將無法進(jìn)行維修及部件更換。

 試運(yùn)轉(zhuǎn)前,請(qǐng)先拆除吸入口上及均流板下附著的保護(hù)膜。

 

2-3 安裝?使用注意事項(xiàng)

風(fēng)機(jī)過濾器單元安裝于無塵室時(shí),請(qǐng)務(wù)必遵守下列指示

?當(dāng)進(jìn)入無塵室時(shí)

請(qǐng)穿著防塵衣以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。

請(qǐng)以酒精清理工具以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。

請(qǐng)以酒精清理衣柜未保護(hù)處以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。

點(diǎn)檢時(shí)請(qǐng)使用防塵紙及原子筆作記錄以免再產(chǎn)生灰塵。

 

 切勿直接重壓風(fēng)機(jī)過濾器單元機(jī)體,以免造成機(jī)體變形。

 

 請(qǐng)勿以沾濕的手操作機(jī)體,以免發(fā)生觸電危險(xiǎn)。

 

 請(qǐng)勿遮蔽機(jī)體吸入口及吹出口,機(jī)體吸入口及吹出口被遮蔽,將導(dǎo)致機(jī)體性能無法正常發(fā)揮,造成機(jī)體功能異?;螂姎獠考p壞。

 

 實(shí)施第三種接地工事,以避免電擊產(chǎn)生之危險(xiǎn)。



3.安裝使用

 

3-1運(yùn)轉(zhuǎn)前檢查事項(xiàng)

運(yùn)轉(zhuǎn)前請(qǐng)先檢查下列注意事項(xiàng):

 機(jī)體外部電源是否連接,電源供應(yīng)是否妥當(dāng)。

 機(jī)體接地工事是否已實(shí)施。

 機(jī)體上方空氣吸入口及下方濾網(wǎng)的保護(hù)膜是否已取下。

3-2運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)注意事項(xiàng)

(1) 開始運(yùn)轉(zhuǎn)

 當(dāng)電源開啟后,機(jī)體即開始運(yùn)轉(zhuǎn)。

 機(jī)體運(yùn)轉(zhuǎn)后請(qǐng)確認(rèn)是否有異常現(xiàn)象。

當(dāng)有下列情形發(fā)生,機(jī)體無法正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),請(qǐng)向經(jīng)銷服務(wù)人員反映。

 機(jī)體內(nèi)部有異物,機(jī)體離心風(fēng)扇無法正常旋轉(zhuǎn)。

 機(jī)體內(nèi)部電線脫落,接頭松脫。

 機(jī)體內(nèi)部電氣部件,如過電源插頭、馬達(dá)損壞。

(2) 停止運(yùn)轉(zhuǎn)

 運(yùn)轉(zhuǎn)后如發(fā)現(xiàn)異?,F(xiàn)象,請(qǐng)即切斷電源,停止機(jī)體運(yùn)轉(zhuǎn)。

 

 

NO.

點(diǎn)檢專案

判斷標(biāo)準(zhǔn)

1

離心風(fēng)扇及馬達(dá)

?離心風(fēng)扇必須旋轉(zhuǎn)平順,沒有產(chǎn)生異常聲音,若聽到異常聲音,請(qǐng)確認(rèn)送風(fēng)機(jī)內(nèi)有無異物以及馬達(dá)軸承的聲音是否異常,若馬達(dá)有問題,請(qǐng)更換馬達(dá)。

2

濾網(wǎng)

?濾網(wǎng)表面有無損傷、污點(diǎn)、骯臟….等

3

機(jī)體外觀

?機(jī)體外觀有無損傷

4-2定期維護(hù)

使用風(fēng)機(jī)過濾器單元一段時(shí)間后,因使用環(huán)境及使用狀況之差異,為了防止意外及確保風(fēng)機(jī)過濾器單元的正常運(yùn)轉(zhuǎn),請(qǐng)務(wù)必實(shí)施下列定期點(diǎn)檢。

4-2.1定期維護(hù)

(1)定期維護(hù)項(xiàng)目
請(qǐng)依表3.所示,對(duì)風(fēng)機(jī)過濾器單元實(shí)施定期點(diǎn)檢,當(dāng)部件壽命已至?xí)r,請(qǐng)立即進(jìn)行部件更換。(部件壽命指一般使用狀況下之壽命,會(huì)因使用環(huán)境及使用狀況而有所差異)。

(2)當(dāng)由于不可抗力(如地震、電擊…..等)或化學(xué)藥品的泄(腐蝕氣體…..等)意外發(fā)生,停機(jī)再啟動(dòng)后,請(qǐng)務(wù)必實(shí)施相同的檢查。

 

3. 定期維護(hù)項(xiàng)目

 

 

部件位置

征兆及可能原因

評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn),確認(rèn)點(diǎn)

檢查頻率

部件壽命

馬達(dá)

(1)軸承損壞而使馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)不平順或死鎖。

(2)絕緣不良造成過熱、過載導(dǎo)致線圈燒損。

(3)電源連接或端子的絕緣不良,而造成異常發(fā)熱、接地錯(cuò)誤、層間短路…..等。

?確認(rèn)馬達(dá)有無異音、振動(dòng)及味道,用耳朵確認(rèn)軸承有無異常聲音。

?絕緣阻抗須大于5MΩ以上。

?檢查電纜線及端子有無破損或銹蝕,更換不良部件。

一年一次

5年以上

離心風(fēng)扇

(1)因灰塵迭積或破損使得運(yùn)轉(zhuǎn)不平衡而損壞。

?檢查離心風(fēng)扇有無異音、振動(dòng)及破損,更換不良部件。

一年一次

5

其它的電氣部件及配線材料

(1)絕緣不良,端子螺絲松脫而造成過熱、短路或燒損。

(2)配線表皮破損而造成短路、漏電或損傷。

?檢查有無過熱、銹蝕、暴露的導(dǎo)體,配線表皮破損…..等。

?絕緣阻抗須大于5MΩ以上。

?鎖緊端子螺絲(每三年一次)更換不良部件。

一年一次

5

濾網(wǎng)

(1)因阻塞而造成風(fēng)速減低。

(2)因化學(xué)藥品而造成濾網(wǎng)材質(zhì)、迫緊、阻隙材不良而使灰塵泄漏。

(3)因外部熱源造成濾網(wǎng)材質(zhì)不良。

?目視檢查濾網(wǎng)材質(zhì)、迫緊、阻隙有無刮傷、褪色、變形。

?檢查泄漏更換不良部件。

一年一次

 (視不同使用場(chǎng)所需要而定)

外箱

及其它組件

因化學(xué)藥品而使部件腐蝕或生銹產(chǎn)生灰塵。

 

?目視檢查部件有無不良、褪色….等。

一年一次

其它部件8

4消耗性部件的更換期間我司建議)


部  品

更 換 期 間

濾網(wǎng)

1-2年(室內(nèi)清凈度100,000級(jí)的場(chǎng)所)  

初效濾網(wǎng)

每3個(gè)月(不同場(chǎng)所而有所區(qū)別)

馬達(dá)

5年以上

注:濾網(wǎng)更換期間會(huì)因不同使用場(chǎng)所的差異而有所不同。


4.2.2點(diǎn)檢完成

點(diǎn)檢完成后,清潔工作場(chǎng)所及確認(rèn)風(fēng)機(jī)過濾器單元在正常運(yùn)轉(zhuǎn)狀況;保留點(diǎn)檢報(bào)告,當(dāng)部件更換或機(jī)體更新時(shí)作為參考。

4-3故障排除

?若有以下現(xiàn)象發(fā)生,連絡(luò)本公司并告知機(jī)身編號(hào)、機(jī)型、電壓及不良現(xiàn)象(盡可能詳細(xì)),然后慎重的調(diào)查問題的起因及采取適合的改善措施。

附錄

 

易損件規(guī)格表:

序號(hào)

名稱

規(guī)格型號(hào)

單位

單臺(tái)數(shù)

備注

1

風(fēng)機(jī)

PCI風(fēng)機(jī)

臺(tái)

1

 保修期:一年

2

電容

5uf,500V

1

 

3

玻纖無隔板過濾器

 

個(gè)

1

99.99%@o.3um

4

初效過濾器

 

個(gè)

1

 可清洗

 當(dāng)需要更換服務(wù)備品時(shí),請(qǐng)務(wù)必依本說明書中表1.所列之部件名稱提供予服務(wù)人員。

 任何未經(jīng)認(rèn)可之代用品,不僅可能會(huì)影響風(fēng)機(jī)過濾器單元的性能,同時(shí)可能造成火災(zāi)、觸電或其它危險(xiǎn)。

 

 


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