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SINTAIKE STK-5020半自動晶圓減薄后撕膜機(jī)

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更新時間：2024-06-19 09:26:49瀏覽次數(shù)：132次

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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司

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產(chǎn)品簡介

STK-5020半自動晶圓減薄后撕膜機(jī)特點：桌上型適用于4"5"6"8"晶圓操作簡便STK-5020半自動晶圓減薄后撕膜機(jī)性能：晶圓收益≥99

詳細(xì)介紹

STK-5020 半自動晶圓減薄后撕膜機(jī)特點：

桌上型

適用于4"&5"&6"&8"晶圓

操作簡便

STK-5020 半自動晶圓減薄后撕膜機(jī)性能：

STK-5020 半自動晶圓減薄后撕膜機(jī)規(guī)格參數(shù)：

晶圓尺寸	4"&5"&6"&8"晶圓
厚度	150 ~750微米
晶圓種類	硅、砷化鎵；平邊或V型缺口晶圓
撕膠膜種類	撕膜膠帶寬度：38~100毫米長度：100米
撕膜角度	<45度，并且在 5°~45°可調(diào)節(jié)
撕膜溫度	室溫到100 ℃范圍可調(diào)，控溫精度+/-3℃
晶圓臺盤	通用防靜電特氟隆涂層接觸式金屬臺盤帶可控加熱功能，溫度可達(dá)100℃ 臺盤帶吸真空功能
裝卸方式	晶圓手動放置與取出
防靜電控制	內(nèi)置防靜電離子發(fā)生器
晶圓定位	彈簧銷釘定位
控制單元	基于PLC 控制，并配有5.7"觸摸屏
驅(qū)動單元	配有伺服馬達(dá)
安全保護(hù)	配置緊急停機(jī)按鈕
電源電壓	單相交流電220V，6A
壓縮空氣	5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘80升/分鐘
機(jī)器外殼	白色噴塑金屬外殼
機(jī)器指示	三色燈塔顯示機(jī)臺工作狀態(tài)
體積	560毫米(寬)x1060毫米(深)x870毫米(含燈塔高)
凈重	75公斤