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激光干涉儀

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激光干涉儀隨著我國(guó)制造業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)數(shù)控機(jī)床的精度要求越來越高，如何檢測(cè)機(jī)床的精度，成為制造廠家和用戶在驗(yàn)收與維護(hù)機(jī)床時(shí)都非常關(guān)注的問題

詳細(xì)介紹

激光干涉儀

隨著我國(guó)制造業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)數(shù)控機(jī)床的精度要求越來越高，如何檢測(cè)機(jī)床的精度，成為制造廠家和用戶在驗(yàn)收與維護(hù)機(jī)床時(shí)都非常關(guān)注的問題。

數(shù)控機(jī)床的精度指標(biāo)分：幾何精度、位置精度、定位精度、分度精度、重復(fù)定位精度、回零精度。

1、數(shù)控機(jī)床的幾何精度反映機(jī)床的關(guān)鍵機(jī)械零部件（如床身、溜板、立柱、主軸箱等）的幾何形狀誤差及其組裝后的幾何形狀誤差，包括工作臺(tái)面的平面度、各坐標(biāo)方向上移動(dòng)的相互垂直度、工作臺(tái)面X、Y坐標(biāo)方向上移動(dòng)的平行度、主軸孔的徑向圓跳動(dòng)、主軸軸向的竄動(dòng)、主軸箱沿z坐標(biāo)軸心線方向移動(dòng)時(shí)的主軸線平行度、主軸在z軸坐標(biāo)方向移動(dòng)的直線度和主軸回轉(zhuǎn)軸心線對(duì)工作臺(tái)面的垂直度等。常用檢測(cè)工具有精密水平尺、精密方箱、千分表或測(cè)微表、直角儀、平尺、高精度主軸芯棒及千分表?xiàng)U磁力座等。

2、數(shù)控機(jī)床的定位精度，是指所測(cè)機(jī)床運(yùn)動(dòng)部件在數(shù)控系統(tǒng)控制下運(yùn)動(dòng)時(shí)所能達(dá)到的位置精度。該精度與機(jī)床的幾何精度一樣，會(huì)對(duì)機(jī)床切削精度產(chǎn)生重要影響。測(cè)量直線運(yùn)動(dòng)的檢測(cè)工具有：標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度刻線尺、成組塊規(guī)、測(cè)微儀、光學(xué)讀數(shù)顯微鏡及激光干涉儀等。標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度測(cè)量以激光干涉儀的測(cè)量結(jié)果為準(zhǔn)。回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)檢測(cè)工具有360齒精密分度的標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)臺(tái)或角度多面體、高精度圓光柵和平行光管等。

目前各機(jī)床公司通用的檢測(cè)儀采用SJ6000激光干涉儀；在機(jī)床處于運(yùn)動(dòng)狀態(tài)下對(duì)機(jī)床的定位精度進(jìn)行測(cè)量；機(jī)床的螺距誤差補(bǔ)償方式包括線性軸補(bǔ)償和旋轉(zhuǎn)軸補(bǔ)償這兩種方式，可對(duì)直線軸和旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的定位精度分別補(bǔ)償。進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償時(shí)，先測(cè)量再補(bǔ)償，補(bǔ)償后再測(cè)量，并應(yīng)按相應(yīng)的分析標(biāo)準(zhǔn)（VDI3441、JIS6330或GB10931-89）對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，直到達(dá)到機(jī)床的定位精度要求。