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Tousimis C系列落地式臨界點(diǎn)干燥儀

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更新時(shí)間：2022-11-23 17:03:19瀏覽次數(shù)：447次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

TousimisTouchscreenSeriesC系列是在原C系列落地式臨界點(diǎn)干燥儀多年成功經(jīng)驗(yàn)的基礎(chǔ)上，結(jié)合Tousimis獨(dú)立研發(fā)的觸屏控制界面全新推出的新一代產(chǎn)品

詳細(xì)介紹

Tousimis Touchscreen Series C 系列是在原C系列落地式臨界點(diǎn)干燥儀多年成功經(jīng)驗(yàn)的基礎(chǔ)上，結(jié)合Tousimis獨(dú)立研發(fā)的觸屏控制界面全新推出的新一代產(chǎn)品。Touchscreen C 系列干燥儀具有高可靠性、高重復(fù)性、操作簡(jiǎn)便的特點(diǎn)，采用的專業(yè)觸屏軟件全自動(dòng)控制，是提高M(jìn)EMS研發(fā)與生產(chǎn)效率的利器。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

專為MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）制備而設(shè)計(jì)的落地式全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀，無(wú)塵室適用
可處理8"晶圓，每次最多可處理5個(gè)晶圓
標(biāo)配HF相容晶圓架和10mm方型晶圓架
標(biāo)配專用樣品室內(nèi)環(huán)，可適配不同直徑的晶片樣品，節(jié)省LCO₂用量，縮短干燥時(shí)間，提高干燥效率
LCD觸控屏
可編程觸屏控制界面，全自動(dòng)控制
多種默認(rèn)處理程序，也可自定義程序并重復(fù)使用
慢速充液功能，適用于各種易損樣品
“Stasis"程序用于處理較厚或較難干燥的樣品
高效內(nèi)部冷卻回路，快速降溫，節(jié)省40%LCO₂
專用內(nèi)置式SOTER冷凝器用于分離乙醇和CO₂，消除靜電及吹掃噪音
外置兩級(jí)過(guò)濾系統(tǒng)，可過(guò)濾LCO₂內(nèi)0.08μm以上雜質(zhì)
外置吹掃后過(guò)濾器，便于儀器維護(hù)
非機(jī)械式吹掃攪拌技術(shù)，免維護(hù)
內(nèi)置壓力控制模塊，自動(dòng)控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性
精確參數(shù)控制，確保處理結(jié)果重復(fù)性
樣品室設(shè)有照明燈及觀察窗，便于觀察樣品狀態(tài)
無(wú)塵室防靜電兼容設(shè)計(jì)
所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn)

C系列干燥儀參數(shù)對(duì)比：

全新觸屏C系列：

型號(hào) （點(diǎn)擊下載PDF）	?4 Series C	? Series C	? Series C
產(chǎn)品編號(hào)	8788A	8788B	8788C
樣品室尺寸	4.5"(內(nèi)徑)×1.25"(深)	6.5"(內(nèi)徑)×1.25"(深)	8.5"(內(nèi)徑)×1.25"(深)
樣品室容積	326 ml	679 ml	1162 ml
降溫時(shí)間	<3 min	<4 min	<5 min
樣品室內(nèi)環(huán)	4", 3", 2", 1.25"	6", 4", 3", 2", 1.25"	8", 6", 4", 3", 2", 1.25"
HF相容晶圓架	4", 3", 2", 10mm	6", 4", 3", 2", 10mm	8", 6", 4", 3", 2", 10mm
溫度壓力范圍	- 30 ℃ ~ 60 ℃，0 ~ 2000 psi
設(shè)備尺寸	50.3 cm (寬) ×　80.6 cm (深) ×　113.0 cm (高)

標(biāo)配附件：

柔性高壓LCO2進(jìn)液管線，3.0 m（無(wú)塵室）
外置兩級(jí)LCO₂過(guò)濾裝置（去油/水及0.5 μm以上顆粒物）
用于吹掃、放空、排氣及冷卻放空的防靜電管線
備用樣品室密封環(huán)（3），樣品室燈泡（2），保險(xiǎn)絲（2）
樣品室內(nèi)環(huán)，內(nèi)徑8"(僅適用于8.5英寸型號(hào)), 6"(僅適用于8.5與6.5英寸型號(hào)), 4", 3", 2", 1.25"，可適配不同直徑晶圓
HF相容晶圓架[8"(僅適用于8.5英寸型號(hào)), 6"(僅適用于8.5與6.5英寸型號(hào)), 4", 3", 2"]及10mm方形樣品架，每個(gè)支架最多可放置5片晶圓或樣品
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