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Tousimis C系列落地式臨界點干燥儀

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更新時間：2022-11-23 17:03:19瀏覽次數(shù)：384次

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商鋪產(chǎn)品：6條

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產(chǎn)品簡介

TousimisTouchscreenSeriesC系列是在原C系列落地式臨界點干燥儀多年成功經(jīng)驗的基礎(chǔ)上，結(jié)合Tousimis獨立研發(fā)的觸屏控制界面全新推出的新一代產(chǎn)品

詳細介紹



Tousimis Touchscreen Series C 系列是在原C系列落地式臨界點干燥儀多年成功經(jīng)驗的基礎(chǔ)上，結(jié)合Tousimis獨立研發(fā)的觸屏控制界面全新推出的新一代產(chǎn)品。Touchscreen C 系列干燥儀具有高可靠性、高重復(fù)性、操作簡便的特點，采用的專業(yè)觸屏軟件全自動控制，是提高MEMS研發(fā)與生產(chǎn)效率的利器。


產(chǎn)品特點：


  • 專為MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）制備而設(shè)計的落地式全自動臨界點干燥儀，無塵室適用

  • 可處理8"晶圓，每次最多可處理5個晶圓

  • 標配HF相容晶圓架和10mm方型晶圓架

  • 標配專用樣品室內(nèi)環(huán)，可適配不同直徑的晶片樣品，節(jié)省LCO2用量，縮短干燥時間，提高干燥效率

  • LCD觸控屏

  • 可編程觸屏控制界面，全自動控制

  • 多種默認處理程序，也可自定義程序并重復(fù)使用

  • 慢速充液功能，適用于各種易損樣品

  • “Stasis"程序用于處理較厚或較難干燥的樣品

  • 高效內(nèi)部冷卻回路，快速降溫，節(jié)省40%LCO2

  • 專用內(nèi)置式SOTER冷凝器用于分離乙醇和CO2，消除靜電及吹掃噪音

  • 外置兩級過濾系統(tǒng)，可過濾LCO2內(nèi)0.08μm以上雜質(zhì)

  • 外置吹掃后過濾器，便于儀器維護

  • 非機械式吹掃攪拌技術(shù)，免維護

  • 內(nèi)置壓力控制模塊，自動控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性

  • 精確參數(shù)控制，確保處理結(jié)果重復(fù)性

  • 樣品室設(shè)有照明燈及觀察窗，便于觀察樣品狀態(tài)

  • 無塵室防靜電兼容設(shè)計

  • 所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準

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C系列干燥儀參數(shù)對比：


全新觸屏C系列：


型號

（點擊下載PDF）

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Series C

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Series C

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Series C

產(chǎn)品編號
8788A8788B8788C
樣品室尺寸4.5"(內(nèi)徑)×1.25"(深)6.5"(內(nèi)徑)×1.25"(深)8.5"(內(nèi)徑)×1.25"(深)
樣品室容積326 ml679 ml1162 ml
降溫時間<3 min<4 min<5 min
樣品室內(nèi)環(huán)4", 3", 2", 1.25"6", 4", 3", 2", 1.25"8", 6", 4", 3", 2", 1.25"
HF相容晶圓架4", 3", 2", 10mm6", 4", 3", 2", 10mm8", 6", 4", 3", 2", 10mm
溫度壓力范圍- 30 ℃ ~ 60 ℃，0 ~ 2000 psi
設(shè)備尺寸50.3 cm (寬) ×　80.6 cm (深) ×　113.0 cm (高)



標配附件：

  • 柔性高壓LCO2進液管線，3.0 m（無塵室）

  • 外置兩級LCO2過濾裝置（去油/水及0.5 μm以上顆粒物）

  • 用于吹掃、放空、排氣及冷卻放空的防靜電管線

  • 備用樣品室密封環(huán)（3），樣品室燈泡（2），保險絲（2）

  • 樣品室內(nèi)環(huán)，內(nèi)徑8"(僅適用于8.5英寸型號), 6"(僅適用于8.5與6.5英寸型號), 4", 3", 2", 1.25"，可適配不同直徑晶圓

  • HF相容晶圓架[8"(僅適用于8.5英寸型號), 6"(僅適用于8.5與6.5英寸型號), 4", 3", 2"]及10mm方形樣品架，每個支架最多可放置5片晶圓或樣品

  • 安裝工具

  • 用戶說明書及數(shù)據(jù)表

  • 2年質(zhì)保及終生免費技術(shù)支持



關(guān)鍵詞：臨界點干燥儀 冷凝器
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