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上海卯林機電設備有限公司


470水中臭氧分析儀

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更新時間：2024-01-28 10:23:26瀏覽次數(shù)：180次

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產品簡介

470是的溶解臭氧測量模塊，為半導 體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設計。它能 夠提供去離子水或硫酸中濃度高達150mg/L 的溶解臭氧測量。470已完成預備清潔， 能夠滿足高純度半...

詳細介紹

470是的溶解臭氧測量模塊，為半導 體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設計。它能 夠提供去離子水或硫酸中濃度高達150mg/L 的溶解臭氧測量。470已完成“預備清潔”， 能夠滿足高純度半導體過程的需求，并且可 簡單的直接拼接進任何濕法處理的環(huán)流回路 中，支持150 SLPM的流量。 470型傳感器使用雙路取樣傳感技術，達到 了的性能，且擺脫了對參比液體測 量的需求。 通常的安裝僅僅包括470傳感器和特氟龍7包 裹的內部連接電纜。470傳感器能夠通過模 擬或數(shù)字信號向濕法處理過程控制臺遠程報 告測量的濃度。

技術指標
  • 測量原理 ：紫外吸收法，雙路取樣傳感技術
  • 紫外光源 ：低壓汞燈
  • 測量單位 ：ppmw, mg/L
  • 量程 ：高達150 mg/L (150 ppmw)
  • 精度 ：0.5mg/L 或 1%讀數(shù) (以較大值為
  • 準）
  • 水流量 ：高達150 SLPM
  • 采樣端口 ：1”, 3/4”, 3/8” Flaretek 連接
  • 壓強 ：55 PSI
  • 接觸材料 ：特氟龍, 藍寶石, 與半導體流程相容
  • 外殼 ：聚四氟乙烯特氟隆
  • 尺寸 ：5.69” 寬 x 6.8” 高 x 3.2” 長 - 垂直固定 (144 x 171 x 82 mm)
  • 維護 ：紫外燈每24個月替換一次 無其他預定維護
  • 電纜 ：特氟龍外層
  • 電源 ：+15 VDC
  • 認證 ：CE 認證
  • 模擬輸出 ：4到20mA或0到5VDC，出廠時選擇
  • 數(shù)字 I/O ：RS-232 或 RS485，出廠時選擇
  • 遠程校零 ：通過DB15進行遠程零點校準

產品特點
  • 現(xiàn)場檢測
  • 在線且全流量監(jiān)測
  • 直線通過的流型
  • 無移動部件
  • 無消耗品
  • 測量范圍達150 mg/L
  • 遠程零點校準
  • 高精度紫外吸收法
  • 雙光道采樣感應技術
  • 不需求日常維護
  • 半導體級別濕式材料
  • 緊湊的特氟龍外殼
  • 特氟龍7包裹的內部連接電纜
應用
  • 液態(tài)溶解臭氧
  • 半導體濕法清洗系統(tǒng)
  • 超純水系統(tǒng)
  • 制藥業(yè)
  • 水處理
  • 其他工業(yè)過程

關鍵詞：傳感器
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