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NRL60A愛發(fā)科干式真空泵

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號NRL60A

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時間:2023-03-22 07:45:22瀏覽次數(shù):262次

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商鋪產(chǎn)品:14條

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產(chǎn)品簡介

NRL60A愛發(fā)科干式真空泵特長NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化

詳細(xì)介紹

NRL60A愛發(fā)科干式真空泵


特長

NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。

低噪音、低振動

優(yōu)良的耐腐蝕性

標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理,降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內(nèi)部的腐蝕程度。

選購件

可選購消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮氣流量開關(guān)、泵溫傳感器。


用途

?   活性氣體(CVD、刻蝕等)。

?   排出非活性氣體(濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)。

?   用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)

?   作為前級泵使用(渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵)。

?   冷凍干燥等水蒸氣排氣。


技術(shù)參數(shù)

NRL60A愛發(fā)科干式真空泵 技術(shù)參數(shù)


* 1   極限壓力是氮氣(密封氣體)在5.0 SLM時的值。
* 2   無結(jié)露。
* 3   用調(diào)節(jié)閥所調(diào)整的壓力表的值。
* 4   氮氣(密封氣體)流量5.0 SLM是固定值。



外形尺寸圖

NRL60A愛發(fā)科干式真空泵 尺寸圖


抽速曲線圖

NRL60A愛發(fā)科干式真空泵 抽速曲線圖

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