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MKS I系列IE1000A質(zhì)量流量控制器

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更新時(shí)間:2023-10-15 12:36:00瀏覽次數(shù):143次

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IP66額定多氣體,多范圍彈性體密封500-1000slm質(zhì)量流量控制器I系列IE1000A質(zhì)量流量控制器是采用IP66防護(hù)等級(jí)的彈性體密封的多氣體/多量程MFC,設(shè)計(jì)用于苛刻的工業(yè)環(huán)境,在這些環(huán)境中,必須具有耐液體和灰塵侵入的性能

詳細(xì)介紹

IP66額定多氣體,多范圍彈性體密封500-1000 slm質(zhì)量流量控制器

 I系列IE1000A質(zhì)量流量控制器是采用IP66防護(hù)等級(jí)的彈性體密封的多氣體/多量程MFC,設(shè)計(jì)用于苛刻的工業(yè)環(huán)境,在這些環(huán)境中,必須具有耐液體和灰塵侵入的性能。IE1000A的滿量程范圍為501到1000 slm(相當(dāng)于N2)。的控制閥設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)如此寬的流量范圍,該設(shè)計(jì)對(duì)設(shè)定點(diǎn)變化做出快速響應(yīng),同時(shí)保持封閉的電導(dǎo)率泄漏率遠(yuǎn)低于其他高流量質(zhì)量流量控制器。

·        流量從500到1000 slm

·        Viton,Buna,氯丁橡膠或EPDM的密封件和閥塞選件

·        模擬,RS485,Profibus™或DeviceNet™I / O

·        標(biāo)準(zhǔn)閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的1.0%

·        1-2秒建立時(shí)間

技術(shù)指標(biāo)

滿量程流量范圍

501-1000 slm(相當(dāng)于N2)

儲(chǔ)存濕度

0至95%相對(duì)濕度,無凝結(jié)

入口壓力

150磅/平方英寸

貯存溫度

-20°至65°C

正常工作壓力差

40至50 psid

外部泄漏完整性

<1 x 10 -9(scc / sec He)

爆破壓力

1500磅/平方英寸

封閉閥的泄漏完整性

在40 psia至vac時(shí)<1.0%滿量程(<500 mTorr)

控制范圍

滿量程的2%至100%

濕材料

316 SS,Elgiloy,430FR,PTFE(標(biāo)準(zhǔn))

典型精度

滿量程的20%至100%時(shí)為設(shè)定值的±1%
滿量程的5%至20%時(shí)為滿量程的0.25%

密封材料

Viton®(VI級(jí))或EPDM(VI級(jí))

重復(fù)性

讀數(shù)的±0.5%

表面處理

平均Ra 16 µinch

解析度

讀數(shù)的0.1%

重量

12.7磅 (5.8公斤)

零溫度系數(shù)

<滿量程的0.05%/°C

外殼等級(jí)

IP66

跨度溫度系數(shù)

<0.08%的讀數(shù)/°C

合規(guī)

CE認(rèn)證

進(jìn)氣壓力系數(shù)

<0.08%的讀數(shù)/ psi

電源要求

+15至+24 VDC @(<8瓦)

典型建立時(shí)間

在50 psi的10%滿量程下典型<3秒

流量輸入輸出信號(hào)

電壓:0至5 VDC
電流:4至20 mA

熱身時(shí)間

1小時(shí)

模擬量I / O連接器

電壓:15針“ D"型公頭
電流:15針“ D"型公頭

工作溫度

10°至50°C

儲(chǔ)存濕度

0至95%相對(duì)濕度,無凝結(jié)

特征

快速建立時(shí)間

2至3秒的建立時(shí)間和低于設(shè)定值1%的設(shè)定點(diǎn)精度超過了其他典型的高流量MFC。精確控制保持在MFC配置的滿量程流量范圍的2%。多氣體/多量程功能,以及針對(duì)精度,控制范圍和瞬態(tài)響應(yīng)的嚴(yán)格性能規(guī)格,使用戶可以地減少高流量MFC零件編號(hào)的庫(kù)存。

多氣體/多量程功能

可通過MFC的嵌入式診斷界面訪問多氣體/多量程功能(以及其他自定義控件),而無需任何特殊的軟件或硬件即可操作。所有需要的工具都是標(biāo)準(zhǔn)的以太網(wǎng)電纜和支持JAVA的HTML瀏覽器。典型的高流量氣體的關(guān)鍵氣體參數(shù)已存儲(chǔ)在設(shè)備中。配置設(shè)備僅是從下拉菜單中選擇氣體并所需的滿量程流量范圍。診斷界面還允許用戶執(zhí)行常規(guī)設(shè)備運(yùn)行狀況檢查,繪制流量響應(yīng)并存儲(chǔ)操作數(shù)據(jù)以進(jìn)行離線分析。

IP66防護(hù)等級(jí)

Thesre質(zhì)量流量控制器設(shè)計(jì)用于要求抵抗液體和灰塵進(jìn)入的惡劣環(huán)境。應(yīng)用包括可能需要“軟管縮水"的應(yīng)用,例如工業(yè)玻璃生產(chǎn)中存在水分和微粒的情況。這些MFC具有IP66防護(hù)等級(jí)的外殼,可以滿足這些苛刻環(huán)境的嚴(yán)格要求。


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