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MKS P250A金屬密封的多氣體/多量程質(zhì)量流量控制器

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更新時間:2023-10-14 11:58:51瀏覽次數(shù):180次

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產(chǎn)品簡介

高性能,大流量250slm質(zhì)量流量控制器P250A是金屬密封的多氣體/多量程質(zhì)量流量控制器,能夠在100至250slm的氮?dú)鉂M量程流量范圍內(nèi)運(yùn)行,并具有的控制閥設(shè)計,可實現(xiàn)快速的設(shè)定點(diǎn)響應(yīng),同時保持封閉的電導(dǎo)率泄漏率遠(yuǎn)低于其他高流量MFC

詳細(xì)介紹

高性能,大流量250 slm質(zhì)量流量控制器

 P250A是金屬密封的多氣體/多量程質(zhì)量流量控制器,能夠在100至250 slm的氮?dú)鉂M量程流量范圍內(nèi)運(yùn)行,并具有的控制閥設(shè)計,可實現(xiàn)快速的設(shè)定點(diǎn)響應(yīng),同時保持封閉的電導(dǎo)率泄漏率遠(yuǎn)低于其他高流量MFC。P250A具有快速的建立時間(不到2秒)和1%的設(shè)定點(diǎn)精度,勝過其他典型的高流量MFC。

·        流速從100到250 slm

·        設(shè)定值精度為1%的多氣體/多量程

·        模擬量I / O:0至5 VDC,4至20 mA

·        數(shù)字量I / O:DeviceNet,RS485,Profibus

技術(shù)指標(biāo)

滿量程流量范圍

100至250 slm(相當(dāng)于N2)

溫度顯示

0至85°C

入口壓力

150磅/平方英寸

溫度精度

±2°攝氏度

正常工作壓力差

25至45 psid(在MFC出口處為大氣壓)

溫度分辨率

0.1°攝氏度

耐壓

1000磅/平方英寸

顯示

數(shù)值為4位數(shù)字,單位為4個字符

爆破壓力

1500磅/平方英寸

配件類型

世偉洛克®8VCR®

控制范圍

滿量程的2%至100%

外部泄漏完整性

<1 x 10 -10(scc / sec He)

典型精度

滿量程的20%至100%時為設(shè)定值的±1%
滿量程的2%至20%時為滿量程的±0.2%

封閉閥的泄漏完整性

在40 psia至vac(<500 mTorr)時,小于已配置滿量程的1.0%

重復(fù)性

讀數(shù)的±0.3%

濕材料

316L SS VAR,316 SS,Elgiloy,430FR,Buna-N,鎳,聚酰亞胺

解析度

讀數(shù)的0.1%

表面處理

平均Ra 10 µinch

零溫度系數(shù)

<滿量程的0.05%/°C

重量

3磅(1.4公斤)

跨度溫度系數(shù)

<讀數(shù)的0.08%/°C

合規(guī)

符合89/336 / EEC的CE

進(jìn)氣壓力系數(shù)

<讀數(shù)的0.02%/ psi

所需的DeviceNet輸入功率

每個DeviceNet™規(guī)格為+11至+25 VDC(@ <9瓦)

典型建立時間

50 psi以下時,通常在10%滿刻度以上<3秒(典型值)

DeviceNet連接器

5針微連接器

熱身時間

30分鐘

DeviceNet數(shù)據(jù)速率開關(guān)選擇

4個位置:125、250、500K(默認(rèn)),GM(可通過網(wǎng)絡(luò)編程)

工作溫度

10°至50°C

DeviceNet網(wǎng)絡(luò)規(guī)模

多達(dá)64個節(jié)點(diǎn)

儲存濕度

0至95%相對濕度,無凝結(jié)

DeviceNet網(wǎng)絡(luò)拓?fù)?/strong>

同一網(wǎng)絡(luò)電纜上的線性(中繼線/吊線)電源和信號

貯存溫度

-20°至80°C



特征

簡短的流程步驟性能

P250A的快速建立時間(少于2秒)和一(1)%的設(shè)定點(diǎn)精度的性能超過了其他典型的高流量MFC??刂颇芰山档椭猎O(shè)備配置的滿量程的2%。這些功能與設(shè)備的多氣體/多量程功能相結(jié)合,擴(kuò)展了用戶的能力,可將MOCVD,硅外延,RTP和擴(kuò)散/氧化應(yīng)用所需的高流量MFC庫存降至。

多氣體/多量程功能

通過設(shè)備的嵌入式軟件和標(biāo)準(zhǔn)以太網(wǎng)接口,無需使用特殊軟件或硬件即可運(yùn)行,只需一個標(biāo)準(zhǔn)Web瀏覽器和一臺PC,即可輕松實現(xiàn)多氣體/多量程功能的使用。對于使用中的典型高流量氣體,已經(jīng)在設(shè)備上存儲了重要的氣體參數(shù)。只需選擇氣體并滿量程流量范圍即可配置設(shè)備。該界面還允許用戶執(zhí)行設(shè)備診斷,繪制流程并存儲數(shù)據(jù)以進(jìn)行離線分析。

P系列質(zhì)量流量控制器概述

P系列高性能MFC具有全數(shù)字控制架構(gòu),可在可操作設(shè)備范圍內(nèi)快速響應(yīng)設(shè)定值。嵌入式Web瀏覽器應(yīng)用程序允許更改氣體類型和滿量程流量,從而通過最小化必須保留在庫存中的MFC的數(shù)量和種類來降低總體成本。


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