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MKS P250A金屬密封的多氣體/多量程質(zhì)量流量控制器

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更新時間：2023-10-14 11:58:51瀏覽次數(shù)：205次

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產(chǎn)品簡介

高性能，大流量250slm質(zhì)量流量控制器P250A是金屬密封的多氣體/多量程質(zhì)量流量控制器，能夠在100至250slm的氮氣滿量程流量范圍內(nèi)運行，并具有的控制閥設(shè)計，可實現(xiàn)快速的設(shè)定點響應(yīng)，同時保持封閉的電導(dǎo)率泄漏率遠低于其他高流量MFC

詳細介紹

高性能，大流量250 slm質(zhì)量流量控制器

P250A是金屬密封的多氣體/多量程質(zhì)量流量控制器，能夠在100至250 slm的氮氣滿量程流量范圍內(nèi)運行，并具有的控制閥設(shè)計，可實現(xiàn)快速的設(shè)定點響應(yīng)，同時保持封閉的電導(dǎo)率泄漏率遠低于其他高流量MFC。P250A具有快速的建立時間（不到2秒）和1％的設(shè)定點精度，勝過其他典型的高流量MFC。

· 流速從100到250 slm

· 設(shè)定值精度為1％的多氣體/多量程

· 模擬量I / O：0至5 VDC，4至20 mA

· 數(shù)字量I / O：DeviceNet，RS485，Profibus

技術(shù)指標

滿量程流量范圍	100至250 slm（相當于N2）	溫度顯示	0至85°C
入口壓力	150磅/平方英寸	溫度精度	±2°攝氏度
正常工作壓力差	25至45 psid（在MFC出口處為大氣壓）	溫度分辨率	0.1°攝氏度
耐壓	1000磅/平方英寸	顯示	數(shù)值為4位數(shù)字，單位為4個字符
爆破壓力	1500磅/平方英寸	配件類型	世偉洛克®8VCR®
控制范圍	滿量程的2％至100％	外部泄漏完整性	<1 x 10 ^-10（scc / sec He）
典型精度	滿量程的20％至100％時為設(shè)定值的±1％滿量程的2％至20％時為滿量程的±0.2％	封閉閥的泄漏完整性	在40 psia至vac（<500 mTorr）時，小于已配置滿量程的1.0％
重復(fù)性	讀數(shù)的±0.3％	濕材料	316L SS VAR，316 SS，Elgiloy，430FR，Buna-N，鎳，聚酰亞胺
解析度	讀數(shù)的0.1％	表面處理	平均Ra 10 µinch
零溫度系數(shù)	<滿量程的0.05％/°C	重量	3磅（1.4公斤）
跨度溫度系數(shù)	<讀數(shù)的0.08％/°C	合規(guī)	符合89/336 / EEC的CE
進氣壓力系數(shù)	<讀數(shù)的0.02％/ psi	所需的DeviceNet輸入功率	每個DeviceNet™規(guī)格為+11至+25 VDC（@ <9瓦）
典型建立時間	50 psi以下時，通常在10％滿刻度以上<3秒（典型值）	DeviceNet連接器	5針微連接器
熱身時間	30分鐘	DeviceNet數(shù)據(jù)速率開關(guān)選擇	4個位置：125、250、500K（默認），GM（可通過網(wǎng)絡(luò)編程）
工作溫度	10°至50°C	DeviceNet網(wǎng)絡(luò)規(guī)模	多達64個節(jié)點
儲存濕度	0至95％相對濕度，無凝結(jié)	DeviceNet網(wǎng)絡(luò)拓撲	同一網(wǎng)絡(luò)電纜上的線性（中繼線/吊線）電源和信號
貯存溫度	-20°至80°C

特征

簡短的流程步驟性能

P250A的快速建立時間（少于2秒）和一（1）％的設(shè)定點精度的性能超過了其他典型的高流量MFC?？刂颇芰山档椭猎O(shè)備配置的滿量程的2％。這些功能與設(shè)備的多氣體/多量程功能相結(jié)合，擴展了用戶的能力，可將MOCVD，硅外延，RTP和擴散/氧化應(yīng)用所需的高流量MFC庫存降至。

多氣體/多量程功能

通過設(shè)備的嵌入式軟件和標準以太網(wǎng)接口，無需使用特殊軟件或硬件即可運行，只需一個標準Web瀏覽器和一臺PC，即可輕松實現(xiàn)多氣體/多量程功能的使用。對于使用中的典型高流量氣體，已經(jīng)在設(shè)備上存儲了重要的氣體參數(shù)。只需選擇氣體并滿量程流量范圍即可配置設(shè)備。該界面還允許用戶執(zhí)行設(shè)備診斷，繪制流程并存儲數(shù)據(jù)以進行離線分析。