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日本KFLOC DF550C系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時(shí)間:2023-08-23 19:29:53瀏覽次數(shù):236次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:10條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

日本KFLOC DF550C系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器標(biāo)配RS485,MODBUS-RTU協(xié)議(以太網(wǎng)RJ-45網(wǎng)線接口2個(gè),最多串聯(lián)99臺(tái)) 市場(chǎng)價(jià): 0.00 價(jià)格: 0.00

詳細(xì)介紹

日本KFLOC DF550C系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器,金屬密封,泄漏率1×10-11Pa?m3/s 
標(biāo)配RS485,MODBUS-RTU協(xié)議 (以太網(wǎng)RJ-45網(wǎng)線接口2個(gè),最多串聯(lián)99臺(tái)),適用于高真空


設(shè)備、半導(dǎo)體行業(yè)、高純氣體/強(qiáng)腐蝕/有毒氣體 等對(duì)泄漏率有高要求的場(chǎng)合。




產(chǎn)品特色:
通過安裝溫度流量傳感器得到高精確的快速回應(yīng)
通用的常閉型閥門
無(wú)焊接構(gòu)造,金屬密封確保低的泄露,泄漏率1×10-11Pa?m3/s 
采用膈膜閥減少了死區(qū)
間距,主體尺寸和連接的設(shè)計(jì)可以和其它生產(chǎn)商的控制器兼容00mA


技術(shù)參數(shù):
流量FS(N2換算):10SCCM-10SLM
氣體種類:所有氣體(腐蝕性、有毒、特殊氣體都可),高純氣體
傳感器類型:新型熱式傳感器
閥門類型:電磁比例閥,常閉
控制范圍:2%-99%
控制速度:2%-99%,1秒以內(nèi)
控制精度:±1.0%FS以內(nèi)
線性:    ±0.5%FS以內(nèi)
重復(fù)性:  ±0.2%FS以內(nèi)
工作差壓:滿量程FS≤5升/分鐘,49-294Kpa
          5升/分鐘≤滿量程FS≤100升/分鐘,98-294Kpa
低差壓特制:2-149Kpa,根據(jù)具體流量來定制
高差壓特制:294-784Kpa,根據(jù)具體流量來定制
產(chǎn)品耐壓:980Kpa
泄漏率:為1x10-11Pa.m3 /sec以內(nèi)
使用溫度:0-50℃
允許濕度:10-90%
產(chǎn)品材質(zhì):主體-SUS316L
          密封圈:SUS316L
管路接頭:1/4英寸VCR
電氣接頭:D型9針
輸入信號(hào):0-5V(模擬信號(hào))
輸出信號(hào):0-5V(模擬信號(hào))
數(shù)字接口:RS485,MODBUS-RTU 或 ASCII協(xié)議 (以太網(wǎng)接口2個(gè),最多串聯(lián)99臺(tái))
供應(yīng)電源:+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)200mA
產(chǎn)品重量:1100g

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