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沈陽好智多新材料制備技術(shù)有限公司
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更新時(shí)間：2023-11-10 12:11:57瀏覽次數(shù)：191次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線設(shè)備用途：利用電阻加熱產(chǎn)生熱能，將待成膜的物質(zhì)置于真空中進(jìn)行蒸發(fā)或升華，使之在基片表面析出的過程
設(shè)備用途：
| 主要技術(shù)指標(biāo) | |
| 真空指標(biāo) | 極限真空度：≤7x10-5Pa (經(jīng)烘烤除氣后)； 系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S； 系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣并充干燥氮?dú)夂?，再開始抽氣，40分鐘可達(dá)到3x10-3 Pa； 停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度：≤20Pa； |
| 真空室 | 真空室尺寸：Φ300 X 365mm, 上開蓋結(jié)構(gòu)，上面焊有觀察窗，放氣閥、膜厚儀等法蘭接口。選用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制造，氬弧焊接，表面特殊工藝處理。內(nèi)壁掛防污板。 |
| 樣品 | 樣品盤上可承裝Φ150mm以下樣品 ，樣品盤轉(zhuǎn)速10—60轉(zhuǎn)／分， 轉(zhuǎn)速連續(xù)可調(diào)。電動(dòng)控制擋板一套； |
| 真空獲得及測(cè)量 | 分子泵+機(jī)械泵，數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)（皮拉尼規(guī)+電離規(guī)） |
| 蒸發(fā)舟 | 兩個(gè)蒸發(fā)舟，10CC |
| 蒸發(fā)電源 | 3KW，帶有微調(diào)功能 |
| 控制系統(tǒng) | 手動(dòng) |
| 工作壓力控制系統(tǒng) | 手動(dòng) |
| 水冷機(jī)組 | 可選 |
| 石英晶振膜厚儀 | 可選 |
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