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深圳市羽杰科技有限公司
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羽杰科技研發(fā)生產的真空低溫蒸發(fā)半導體芯片制造廢水處理設備通過主要功能是在真空負壓作用下把蒸發(fā)沸點降低,使原液加熱后在30°沸騰蒸餾,蒸餾出來的蒸汽經過冷凝系統(tǒng)凝結成液態(tài)水通過排水系統(tǒng)排出到制定收集桶,根據處理的廢水不同濃縮減量出水率可以達到70-95%
羽杰科技研發(fā)生產的真空低溫蒸發(fā)半導體芯片制造廢水處理設備通過主要功能是在真空負壓作用下把蒸發(fā)沸點降低,使原液加熱后在30°沸騰蒸餾,蒸餾出來的蒸汽經過冷凝系統(tǒng)凝結成液態(tài)水通過排水系統(tǒng)排出到制定收集桶,根據處理的廢水不同濃縮減量出水率可以達到70-95%。通過羽杰科技生產的真空低溫蒸發(fā)濃縮減量處理,處理后的廢水滿足GB/T 31962-2015中標準排放要求,可排放可回用,達到減輕企業(yè)廢液處理的成本。
在半導體制造技術中,通過一系列的光刻、刻蝕、沉積、離子注入、研磨、清洗等工藝形成具有各種功能的半導體芯片,然后將所述半導體芯片進行封裝和電性測試,并最終形成終端產品。目前,在半導體芯片的制造過程中,會產生大量的工業(yè)廢水且芯片制造生產工藝復雜,包括硅片清洗、化學氣相沉積、刻蝕等工序反復交叉,生產中使用了大量的化學試劑如HF、H2SO4、NH3?H2O等。所以一般芯片制造廢水處理系統(tǒng)有含氨廢水處理系統(tǒng)+含氟廢水處理系統(tǒng)+CMP。
在現有的廢水處理過程中,通常單獨使用序列間歇式活性污泥法(SBR)或生物接觸氧化法或曝氣生物濾池(BAF),均只能對廢水進行單一的處理,例如為過濾或微生物反應或去除毒性等,由于處理方式過于單一,這常常導致過濾物質很快堵塞的問題。因此,廢水處理仍有改善的空間。
羽杰科技的廢水處理設備主要目的在于提供一種芯片生產線的廢水處理方法,以解決現有技術存在的處理方式過于單一,這常常導致過濾物質很快堵塞的問題。
羽杰科技研發(fā)生產的真空低溫蒸發(fā)半導體芯片制造廢水處理設備通過主要功能是在真空負壓作用下把蒸發(fā)沸點降低,使原液加熱后在30°沸騰蒸餾,蒸餾出來的蒸汽經過冷凝系統(tǒng)凝結成液態(tài)水通過排水系統(tǒng)排出到制定收集桶,根據處理的廢水不同濃縮減量出水率可以達到70-95%。通過羽杰科技生產的低溫真空蒸發(fā)器設備濃縮減量處理,可以減輕企業(yè)廢液處理的成本。
半導體芯片制造廢水處理設備用途:
1、經濟效益方面:能大大節(jié)省委外廢水的數量和花費,可為企業(yè)節(jié)省9成的廢水處理的委外處理成本;
2、環(huán)保效益方面:使廢棄的高濃度有機廢水能夠多次再生循環(huán)利用,羽杰科技低溫蒸發(fā)器設備廢水處理設備還幫您減少了廢水對環(huán)境的污染和破壞;
3、公司形象方面:節(jié)能環(huán)保,不但是部門越來越重視的政策趨勢,還能增加客戶對公司的認可度,為公司形象加分。
半導體芯片制造廢水處理設備優(yōu)勢
1、全不銹鋼結構,整機和設備部件防爆安全設計,電器采用有防爆資質廠家的防爆電控箱,安全使用。
2、標準化批量生產,品質有保障,油水分離,省錢省心。
3、回收流程簡單,機器操作便捷,普通員工短期培訓,即可安全操作。
4、超低的機器維護成本,機器性能穩(wěn)定,耐用,維護簡單,耗材少。
5、多重運行安全保護功能:定時關機功能,機器運行達到預設時長時,則自動停機。回收的高濃度有機廢水品質高:色正、清澈、純凈。
6、超高溫保護功能:在設定的溫定范圍內運行,有效防止加熱溫度過高;高壓保護功能;桶內壓力過高時,安全閥將自動泄壓,確保安全。
7、停電保護功能:突然停電時,機器立即自動關機,防止再次供電時機器繼續(xù)運行。
半導體芯片制造廢水處理設備使用流程
1、接通電源,(不包括自動加料裝置情況下)打開桶蓋,倒入臟溶液,蓋緊桶蓋,打開電源。
2、機器加熱達到工業(yè)廢水沸點溫度,工業(yè)廢水受熱蒸發(fā)而與不可蒸發(fā)的雜質分離。
3、蒸汽工業(yè)廢水進入到冷凝系統(tǒng),通過防爆風機散熱(也可以選擇水冷降溫)液化后,干凈的處理水,流入廢水收集桶。
4、回收桶內工業(yè)廢水被蒸干(可控制是否蒸干)后,傾倒入回收桶(可選下排),清理桶內殘渣。
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