美國 Lake Shore 8400系列交直流霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)
8400系列 面議污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
深圳市科時達電子科技有限公司
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| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號AKONIS
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地
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更新時間：2023-06-16 12:04:49瀏覽次數(shù)：98次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線用于半導(dǎo)體晶圓廠中成分測量的全自動SIMSAKONISSIMS工具通過直接在半導(dǎo)體生產(chǎn)線中提供對注入分布、成分分析和界面數(shù)據(jù)的高產(chǎn)量、高精度檢測，半導(dǎo)體制造工藝中的重要空白
用于半導(dǎo)體晶圓廠中成分測量的全自動 SIMS
AKONIS SIMS 工具通過直接在半導(dǎo)體生產(chǎn)線中提供對注入分布、成分分析和界面數(shù)據(jù)的高產(chǎn)量、高精度檢測，半導(dǎo)體制造工藝中的重要空白。AKONIS 有非常高的自動化水平，確保了各種工具在晶圓廠工藝控制和工具之間匹配方面的可重復(fù)性。
除傳統(tǒng)的通過表征實驗室為半導(dǎo)體行業(yè)提供支持的IMS Wf/SC Ultra和 SIMS 4550（四極桿 SIMS）系列外，AKONIS作為其 補充，可實現(xiàn)儀器設(shè)置和采集例程的自動化，從而可在分析靈敏度不受影響的情況下實現(xiàn)快速的廠內(nèi)分析。AKONIS 受益于極低沖擊能量（EXLIE）離子色譜柱技術(shù)（
推動實現(xiàn) N5 及后繼制程的高產(chǎn)量
SiGe 和 SiP 多層堆疊的高分辨率成分和快速摻雜物深度剖析
的最小 20 μm 在壓焊點上的檢測限
將數(shù)據(jù)反饋到生產(chǎn)線的時間縮短了 97% 以上
光片和圖案化的整片晶圓測量
圖案識別引擎與高分辨率干涉測量平臺相結(jié)合，可實現(xiàn) 基于材料數(shù)據(jù)庫的直觀recipe創(chuàng)建
SEMI 認(rèn)證（S2/S8、E4、E5、E39、E84 ）
低購置成本
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