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低溫泵-LNG轉(zhuǎn)注泵

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低溫泵又叫是冷凝泵,是利用低溫表面冷凝氣體的一種真空泵

詳細(xì)介紹


低溫泵又叫是冷凝泵,是利用低溫表面冷凝氣體的一種真空泵。使用低溫泵可以獲得清潔真空,而且這些真空抽氣速率大、壓力低,所以低溫泵被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)等各個(gè)領(lǐng)域。那么對(duì)于河北低溫泵你們了解多少呢?

1.低溫泵口熱負(fù)荷的影響:低溫泵入口障板的熱負(fù)荷是有要求的,一般是按300K氣體計(jì)算,如果入口溫度過(guò)高,應(yīng)立即將熱源屏蔽。否則可能使入口障板溫度超過(guò)100K,對(duì)吸附陣的溫度以及捕獲氣體都是有影響的。


2.低溫泵突然斷電對(duì)運(yùn)行的影響:低溫泵連續(xù)運(yùn)行中,活性炭吸附氦已飽和。如果吸附陣回溫,氦氣將釋放出來(lái),通常是因?yàn)槎虝r(shí)間停電。水蒸氣也將從二級(jí)冷屏及障板上解吸出來(lái),被吸附陣吸附,如果有這種情況,低溫泵需要進(jìn)行再生處理。

3.低溫系配置壓機(jī)的氦氣純度:氖是常見(jiàn)雜質(zhì),可能凝在一成二級(jí)冷頭腔內(nèi)的低溫表面,導(dǎo)致密封件的磨損,所以一般氦壓機(jī)需要充以高純氬,氦壓機(jī)檢修時(shí)要特別注意充氦方法、不能帶入空氣,否則會(huì)使管路堵塞。

4.油霧對(duì)低溫泵的影響:使用低溫泵時(shí),若真空室中有油霧氣源,會(huì)導(dǎo)致吸附陣中的活性炭受污染,使其失去抽氣能力。特別需要注意的是,在低溫泵再生時(shí),也同樣需要防止油污染活性炭。

5.抽除有危險(xiǎn)的氣體:低溫泵捕獲之后,再生時(shí)釋放出來(lái),危及環(huán)境及人身安 全,所以低溫泵不宜用于抽除危險(xiǎn)性氣體。

6.低溫系上的安 全閥:低溫泵再生時(shí),捕獲氣體如果瞬間釋放出來(lái),主要是由于溫度升高,這樣就造成低溫泵腔體內(nèi)壓力升高,泵的安 全會(huì)受到嚴(yán)重威脅,為此,低溫泵要安裝安 全閥,以便超壓時(shí)放氣。安 全閥需要定期檢査,大型真空系統(tǒng),低溫泵有時(shí)安裝高度較高,操作人員不易操作,更需要注意安 全閥的可靠性,否則會(huì)造成大事故。

以上是小編整理的關(guān)于低溫泵的知識(shí),希望對(duì)大家能有所幫助,我司專(zhuān)業(yè)從事低溫泵生產(chǎn)銷(xiāo)售等業(yè)務(wù),歡迎各位新老客戶(hù)。


關(guān)鍵詞:低溫泵 真空泵 活性炭
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