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真空晶體生長爐

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更新時間:2022-11-04 15:18:50瀏覽次數:381次

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聯(lián)系人:王成剛

產品簡介

一·設備用途主要用于LED行業(yè)的藍寶石晶體紅寶石晶體,氟化物晶體,氟化鎂警惕等寶石類晶體制備  二·產品特點  1·模塊化設計,結構緊湊,外形美觀,  2·采用底部電動升降

詳細介紹

  一·設備用途主要用于LED行業(yè)的藍寶石晶體紅寶石晶體,氟化物晶體,氟化鎂警惕等寶石類晶體制備

  二·產品特點

  1·模塊化設計,結構緊湊,外形美觀,

  2·采用底部電動升降或者鐘罩式爐體升降,結構精巧,方便,**平穩(wěn)裝卸料方便

  3· 采用觸摸屏+plc控制方式,自動化程度高,操作直觀,功能強大。

  4· 在觸摸屏內可預存幾十種燒結工藝,一次編輯,以后直接調用使用,省去多次編輯工藝的麻煩,避免輸入錯誤,燒壞產品。

  5· 燒結的溫度,真空度,等數據可實時記錄,也可隨時啟動停止記錄,減少無用數據,數據可查詢,可導出下載。

  6· 燒結溫度高,用鉬絲發(fā)熱體,**可達1600℃,石墨發(fā)熱體鎢發(fā)熱體**可達2300℃。

  7·自帶水冷機,省去客戶做水路工程的麻煩。

  三·設備參數

  1.額定工作溫度: 1600℃

  2.冷態(tài)極限真空度: ≤5×10-3Pa

  3.壓升率: ≤3Pa/h

  4.坩堝內尺寸:Ф350×500mm(直徑×高,可滿足直徑350mm晶體生長)

  5.隔熱環(huán) 厚度50mm,內孔360mm

  6.爐膛尺寸: 直徑3Ф450mm

  7.測溫系統(tǒng):熱電偶

  8.控溫精度: ±0.1℃

  9.加熱區(qū): 2區(qū)(以隔熱環(huán)為界,上部是高溫區(qū),下部是低溫區(qū))

  高溫區(qū),石墨加熱,高度300mm

  低溫區(qū),電阻絲加熱,高度200mm

  10.下降速度:慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)

  快速升降50-200mm/min(帶手動升降)

  11.中心軸有效行程/載重: ~450mm/200kg

  12.爐內充氣壓力: ≤0.1MPa

關鍵詞:熱電偶
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