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集成一體式干式螺桿真空泵Neovac S系列

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更新時間：2022-11-13 13:28:04瀏覽次數(shù)：281次

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產(chǎn)品簡介

概括：Neovac是韓國真空之一的KOWEL公司旗下一體化設(shè)計真空產(chǎn)品系類，具有清潔、高速、高效的特點，特別適用于半導體、電子器件等精密工藝。韓國Kowel公司幾十年來一直致力于真空技術(shù)及產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)，產(chǎn)品質(zhì)量及性能都具有較高的可靠性。地處大灣區(qū)的區(qū)域優(yōu)勢及雅迪勤多年來的通用機械經(jīng)驗，使得Kowel將NEOVAC系列我司。

詳細介紹

集成一體式干式螺桿真空泵Neovac S系列

概括：Neovac是韓國真空之一的KOWEL公司旗下一體化設(shè)計真空產(chǎn)品系類，具有清潔、高速、高效的特點，特別適用于半導體、電子器件等精密工藝。

韓國Kowel公司幾十年來一直致力于真空技術(shù)及產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)，產(chǎn)品質(zhì)量及性能都具有較高的可靠性。地處大灣區(qū)的區(qū)域優(yōu)勢及雅迪勤多年來的通用機械經(jīng)驗，使得Kowel將NEOVAC系列我司。


產(chǎn)品特點

參數(shù)規(guī)格

型號

SS 120

SS 200

SS 300

氣量
(50/60Hz)

m3/h

100 / 120

155 / 187

267 / 320

L/min

1666 / 2000

2583 / 3117

4450 / 5333

極限壓力（50/60Hz）

mbar

2.6×10-2/ 6×10-3

1×10-2/ 6×10-3

9×10-3 / 1.3×10-3

Torr

2×10-2 / 5×10-3

8×10-3 / 5×10-3

7×10-3/ 1×10-3

Pa

2.66 / 0.66

1.06 / 0.66

0.93 / 0.13

功率

Kw

3.7

5.5

7.5

口徑

進氣口

NW50

NW50

NW50

排氣口

NW40

NW40

NW50

噪音

db

<65

<65

<65

齒輪油

L

0.45

0.45

1.6

冷卻水流量

L/min

3

3

7

重量

kg

210

350

470


型號

SS 600W

SS1200W

SS1800W

SS2400W

SS3000W

SS5000W

氣量
(50/60Hz)

m3/h

568 / 660

930 / 1220

1552 / 1862

2026 / 2432

3000

5000

L/min

11000

20333

31033

40533

50000

83333

極限壓力（50/60Hz）

mbar

6×10-4

6×10-4

6×10-4

6×10-4

6×10-4

6×10-4

Torr

5×10-4

5×10-4

5×10-4

5×10-4

5×10-4

5×10-4

Pa

0.06

0.06

0.06

0.06

0.06

0.06

功率

Kw

7.4

7.4

11

15

18.5

30

口徑

進氣口

ISO100

ISO100

ISO160

ISO160

ISO200

ISO320

排氣口

NW40

NW40

NW40

NW50

ISO63

ISO80

噪音

db

<65

<65

<65

<65

<65

<65

齒輪油

L

1.8

1.8

4.2

5.6

5.6

14.2

冷卻水流量

L/min

4~5

4~5

5~7

11

15

28

重量

kg

340

460

740

970

1070

1600


集成一體式干式螺桿真空泵Neovac S系列應用領(lǐng)域

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