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超低溫真空泵（-263℃）

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低溫真空泵低溫真空泵是利用10K（-263℃）低溫制冷機(jī)作為冷源，通過低溫冷凝、低溫吸附的原理獲得無(wú)油高真空的設(shè)備，低溫真空泵廣泛應(yīng)用于：1）半導(dǎo)體、集成電路、光電器件的鍍膜工藝過程；2）光學(xué)鏡片鍍膜；3）磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線；4）空間環(huán)境模擬；5）真空排氣臺(tái)等

詳細(xì)介紹

低溫真空泵

低溫真空泵是利用10K（-263℃）低溫制冷機(jī)作為冷源，通過低溫冷凝、低溫吸附的原理獲得無(wú)油高真空的設(shè)備，

低溫真空泵廣泛應(yīng)用于：

1）半導(dǎo)體、集成電路、光電器件的鍍膜工藝過程；

2）光學(xué)鏡片鍍膜；

3）磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線；

4）空間環(huán)境模擬；

5）真空排氣臺(tái)等。

低溫真空泵主要特點(diǎn)：

1）低溫真空泵是吸附式真空泵，工作時(shí)無(wú)需前級(jí)泵；

2）低溫真空泵需要再生；

3）低溫真空泵對(duì)不同氣體具有不同的抽速和抽氣容量。