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上海昊量光電設(shè)備有限公司
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更新時間:2024-02-16 16:48:19瀏覽次數(shù):108次
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滑動式二硫化鉬CVD制備設(shè)備一、滑動式二硫化鉬CVD制備設(shè)備概述硫粉預(yù)熱器采用管內(nèi)測控溫以保證在250℃以下,穩(wěn)定控制硫蒸汽的蒸發(fā)時機(jī)和蒸發(fā)溫度
滑動式二硫化鉬CVD制備設(shè)備
一、 滑動式二硫化鉬CVD制備設(shè)備概述
硫粉預(yù)熱器采用管內(nèi)測控溫以保證在250℃以下,穩(wěn)定控制硫蒸汽的蒸發(fā)時機(jī)和蒸發(fā)溫度。真空機(jī)組裝有真空粉塵過濾器以保護(hù)機(jī)械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復(fù)合真空計(在1000Pa以上測量不受氣體種類影響,耐硫蒸氣腐蝕),通過調(diào)節(jié)真空蝶閥的開啟程度調(diào)節(jié)爐管內(nèi)壓力穩(wěn)定,在1200℃以下的工藝溫度穩(wěn)定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。
二、 滑動式二硫化鉬CVD制備設(shè)備設(shè)備組成
HCVD-1200S雙溫區(qū)管式爐,HTF400C硫粉預(yù)熱器(雙溫區(qū)管式爐與預(yù)熱器可滑動),質(zhì)量流量計供氣系統(tǒng),機(jī)械式真空泵等組成。
三、 滑動式二硫化鉬CVD制備設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)
硫粉預(yù)熱器
型號:HTF-400C
工作溫度:350℃
MAX溫度:400℃
MAX升溫速率:30℃/min
推薦升溫速率:10℃/min
控溫方式:智能化30段可編程控制
工作電壓:AC220 V額定功率:800W
控溫精度:±1℃
加熱元件:電阻絲
雙溫區(qū)硫化爐
型號:HCVD-1200S
技術(shù)參數(shù):額定功率(KW):3
額定電壓(V):AC220v 50/60 Hz
MAX溫度(℃):1200(1 hour)
持續(xù)工作溫度(℃):1100
升溫速率(℃/min):≤50
爐管尺寸(mm):高純石英管Φ50×1500mm
加熱區(qū)長度(mm):440mm
恒溫區(qū)長度(mm):200mm
控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能
控溫精度(℃):±1
加熱元件:電阻絲
供氣系統(tǒng)GMF3Z
質(zhì)量流量計重量:35Kg
外形尺寸:600x600x650mm
連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭
標(biāo)準(zhǔn)量程(N2標(biāo)定):50sccm、200sccm、500sccm; (可根據(jù)用戶要求定制)
準(zhǔn)確度:±1.5%線性:±0.5~1.5%重復(fù)精度:±0.2%
響應(yīng)時間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec
工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa MAX壓力:3MPa
接口:Φ6,1/4''
顯示:4位數(shù)字顯示
工作環(huán)境溫度:5~45℃
內(nèi)外雙拋不銹鋼管:Φ6
壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥:Φ6
低真空機(jī)組VAU-02
技術(shù)參數(shù):
空氣相對濕度≤85%
工作電電壓:220V±10% 50~60HZ
功率:1千瓦
抽氣速率:4L/s
極限真空:4X10-2Pa
實驗真空度:1.0X10-1Pa
容油量:1.1L
進(jìn)氣口口徑:KF25
排氣口口徑:KF25
轉(zhuǎn)速:1450rpm
噪音:50dB
外型尺寸:450×180×240mm
配真空粉塵過濾器,DN25手動蝶閥用于控制爐管內(nèi)壓力,INFICON PCG554復(fù)合真空計
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