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滑動(dòng)式二硫化鉬CVD制備設(shè)備

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滑動(dòng)式二硫化鉬CVD制備設(shè)備一、滑動(dòng)式二硫化鉬CVD制備設(shè)備概述硫粉預(yù)熱器采用管內(nèi)測(cè)控溫以保證在250℃以下,穩(wěn)定控制硫蒸汽的蒸發(fā)時(shí)機(jī)和蒸發(fā)溫度

詳細(xì)介紹


滑動(dòng)式二硫化鉬CVD制備設(shè)備


一、 滑動(dòng)式二硫化鉬CVD制備設(shè)備概述
硫粉預(yù)熱器采用管內(nèi)測(cè)控溫以保證在250℃以下,穩(wěn)定控制硫蒸汽的蒸發(fā)時(shí)機(jī)和蒸發(fā)溫度。真空機(jī)組裝有真空粉塵過(guò)濾器以保護(hù)機(jī)械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復(fù)合真空計(jì)(在1000Pa以上測(cè)量不受氣體種類影響,耐硫蒸氣腐蝕),通過(guò)調(diào)節(jié)真空蝶閥的開(kāi)啟程度調(diào)節(jié)爐管內(nèi)壓力穩(wěn)定,在1200℃以下的工藝溫度穩(wěn)定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。
二、  滑動(dòng)式二硫化鉬CVD制備設(shè)備設(shè)備組成
HCVD-1200S雙溫區(qū)管式爐,HTF400C硫粉預(yù)熱器(雙溫區(qū)管式爐與預(yù)熱器可滑動(dòng)),質(zhì)量流量計(jì)供氣系統(tǒng),機(jī)械式真空泵等組成。
 三、  滑動(dòng)式二硫化鉬CVD制備設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)
硫粉預(yù)熱器 

型號(hào):HTF-400C

工作溫度:350℃

MAX溫度:400℃

MAX升溫速率:30℃/min

推薦升溫速率:10℃/min

控溫方式:智能化30段可編程控制

工作電壓:AC220 V額定功率:800W

控溫精度:±1℃

加熱元件:電阻絲 

雙溫區(qū)硫化爐 

型號(hào):HCVD-1200S

技術(shù)參數(shù):額定功率(KW):3

額定電壓(V):AC220v  50/60 Hz

MAX溫度(℃):1200(1 hour)

持續(xù)工作溫度(℃):1100

升溫速率(℃/min):≤50

爐管尺寸(mm):高純石英管Φ50×1500mm

加熱區(qū)長(zhǎng)度(mm):440mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度(mm):200mm 

控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能

控溫精度(℃):±1

加熱元件:電阻絲
供氣系統(tǒng)GMF3Z 

質(zhì)量流量計(jì)重量:35Kg

外形尺寸:600x600x650mm

連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程(N2標(biāo)定):50sccm、200sccm、500sccm; (可根據(jù)用戶要求定制)

準(zhǔn)確度:±1.5%線性:±0.5~1.5%重復(fù)精度:±0.2%

響應(yīng)時(shí)間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa MAX壓力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

顯示:4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度:5~45℃

內(nèi)外雙拋不銹鋼管:Φ6

壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 

截止閥:Φ6
低真空機(jī)組VAU-02 

技術(shù)參數(shù):

空氣相對(duì)濕度≤85%

工作電電壓:220V±10%  50~60HZ

 功率:1千瓦

抽氣速率:4L/s

極限真空:4X10-2Pa

實(shí)驗(yàn)真空度:1.0X10-1Pa

容油量:1.1L

進(jìn)氣口口徑:KF25

排氣口口徑:KF25

轉(zhuǎn)速:1450rpm

噪音:50dB

外型尺寸:450×180×240mm
配真空粉塵過(guò)濾器,DN25手動(dòng)蝶閥用于控制爐管內(nèi)壓力,INFICON PCG554復(fù)合真空計(jì)



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