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Kaleo MultiWAVE多波長(zhǎng)動(dòng)態(tài)干涉儀

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更新時(shí)間:2024-02-13 15:17:01瀏覽次數(shù):223次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

KALEOMultiWAVE多波長(zhǎng)動(dòng)態(tài)【KALEOMultiWAVE簡(jiǎn)介】在光學(xué)計(jì)量領(lǐng)域持續(xù)創(chuàng)新,推出能夠兼顧測(cè)量透射誤差和反射波前誤差(TWE/RWE)的革命性新產(chǎn)品:KaleoMultiWAVE動(dòng)態(tài)干涉儀

詳細(xì)介紹

KALEO MultiWAVE 多波長(zhǎng)動(dòng)態(tài)


【KALEO MultiWAVE 簡(jiǎn)介

在光學(xué)計(jì)量領(lǐng)域持續(xù)創(chuàng)新,推出能夠兼顧測(cè)量透射誤差反射波前誤差(TWE / RWE)的革命性新產(chǎn)品:Kaleo MultiWAVE動(dòng)態(tài)干涉儀。 直徑高至5.1英寸(130毫米)的鍍膜和未鍍膜的光學(xué)器件可在其工作波長(zhǎng)下直接進(jìn)行測(cè)量。 Kaleo MultiWAVE是購(gòu)買多臺(tái)干涉儀或特殊波長(zhǎng)干涉儀的有效替代方案,擁有性價(jià)比。 該系統(tǒng)同時(shí)可提供媲美Fizeau干涉儀測(cè)量精度,及動(dòng)態(tài)干涉儀的抗震性能。


【關(guān)于Phasics】

是一家專注于高分辨率傳感技術(shù)的法國(guó)公司。Phasics公司憑借其在測(cè)量方面的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)與的波前測(cè)量技術(shù)為客戶提供全面的高性能。


 一、 KALEO MultiWAVE 主要特點(diǎn)


  • 紫外、可見光、近紅外、短波紅外、中遠(yuǎn)紅外等任意多波長(zhǎng)定制

  • 單臺(tái)干涉儀可集成多個(gè)工作波長(zhǎng)

  • 納米級(jí)相位分辨率

  • 超高動(dòng)態(tài)范圍 (>500 條紋數(shù))


二、KALEO MultiWAVE 應(yīng)


  • 光學(xué)元件及光學(xué)系統(tǒng)計(jì)量


三、KALEO MultiWAVE 測(cè)量案例


四、KALEO MultiWAVE 指標(biāo)參數(shù)(1)


RMS重復(fù)性 (2)< 0.7="" nm="">< λ="">
測(cè)量精度80 nm PV (3)
動(dòng)態(tài)范圍(離焦值)500 fringes (SFE = 150 μm)
可測(cè)反射率范圍4% - 99%

(1) 四英寸口徑,使用625 nm光源

(2) 在4英寸參考鏡上執(zhí)行36次連續(xù)測(cè)量,每一次測(cè)量使用均化值為16次。 參考定義為所有奇數(shù)測(cè)量的平均值。 RMS重復(fù)性定義為RMS平均差值,加上偶數(shù)測(cè)量值與參考之間差值的標(biāo)準(zhǔn)偏差的2倍。

(3) 1 µm PV 離焦像差下



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