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愛德華edwards干式真空泵iH600 干式泵

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更新時間：2023-05-21 07:42:29瀏覽次數(shù)：232次

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產(chǎn)品簡介

iH高真空干泵愛德華edwards干式真空泵iH600干式泵我們的iH干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案

詳細介紹

iH 高真空干泵愛德華edwards干式真空泵iH600 干式泵

我們的 iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列具有五級主泵，使用創(chuàng)新的懸臂式轉(zhuǎn)子、爪式和羅茨設(shè)計，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和封閉的水冷卻電機。

Standard_Body_Image_iH

應用

負載鎖定
轉(zhuǎn)換
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

功能與優(yōu)勢

優(yōu)化了設(shè)施消耗
無需預防性維護
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理
在節(jié)省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩(wěn)定性
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證
軸桿一體化設(shè)計無需電機聯(lián)軸器，第五抽排級免除對消音器的需求，也避免了顆粒堆積，兩者均減少了總體占地空間

概述

Edwards 高級半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應用證明，可以按照Z高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時地減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。

iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

應用

負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

有關(guān)任何特定應用條件下 iH 系統(tǒng)穩(wěn)定性的建議，請與 Edwards 聯(lián)系。

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A

iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A

iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A

iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相

A

功能和優(yōu)勢

優(yōu)化了設(shè)施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結(jié)器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。

技術(shù)數(shù)據(jù)


峰值速度	600 m3h-1
	353 cfm
	10000 l min-1
極限真空	7 x 10-4 mbar
	5.3 x 10-4 Torr
	0.07 Pa
典型軸封氮流量	4 slm
進氣口連接	ISO100
出口連接	NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量	240 l h-1
	4 l min-1
重量	415 kg
極限功率輸入	3.4 kW
電機額定功率	6.1 kW
油容量	1.43 l