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108auto SE離子濺射儀

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更新時間：2022-09-20 15:37:55瀏覽次數(shù)：213次

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產(chǎn)品簡介

108auto SE離子濺射儀Cressington 108auto SE離子濺射儀基于108auto 離子濺射儀。它具有108auto的所有優(yōu)點，但具有更大的?150x165mm玻璃腔和目標前方的額外擋板。此外，108auto / SE可配備可選的旋轉傾斜（RT）樣品臺或可選的旋轉行星傾斜（RPT）樣品臺。分類：電鏡制樣設備, 鍍膜儀標簽：離子濺射儀, 鍍膜儀 Brand:T......

詳細介紹

描述

Cressington 108auto SE離子濺射儀基于108auto 離子濺射儀。它具有108auto的所有優(yōu)點，但具有更大的?150x165mm玻璃腔和目標前方的額外擋板。此外，108auto / SE可配備可選的旋轉傾斜（RT）樣品臺或可選的旋轉 – 行星 – 傾斜（RPT）樣品臺。

108 Auto SE是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。

主要特性

一、自動的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和的導電噴鍍效果。

二、通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損。

三、操作容易快捷，可全自動或手動進行噴鍍操作，控制的參數(shù)包括自動放氣以及氬氣換氣控制。

四、在自動模式下，可通過兩種方式進行控制鍍膜過程?？赏ㄟ^數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果，

五、通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）在達到設定膜厚時停止噴鍍過程。

六、可用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）手動停止噴鍍過程。

七、數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。

八、可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶為標配），靶材更換快速方便。

技術參數(shù)

濺射系統(tǒng)
樣品室大小	直徑150mm x 165mm 高 (4.75 x 4.75″) 高度可變165mm-250mm
靶材	Au 靶為標配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （選件）;大?。褐睆?7mm x 0.1mm厚
樣品臺	可以裝載12個SEM樣品座，高度可調范圍為60mm
濺射控制	微處理器控制，安全互鎖，可調，電流40mA，程序化數(shù)字控制
濺射頭	低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護罩
模擬計量	真空： Atm – 0.001mbar，電流：0-50mA
厚度監(jiān)控 (選件)	使用MTM-20高分辨厚度控制儀（選件）自動終止濺射過程，或使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）手動終止濺射過程
控制方法	自動氣體換氣和泄氣功能，自動處理排序，帶有“暫停"控制的數(shù)字定時器（0－300s），自動放氣
真空系統(tǒng)
真空泵	2級直連式高速真空泵
抽氣速率	3.0 m3/小時，真空度到 0.1mb所需時間30秒
桌上系統(tǒng)	真空泵可置于抗震臺上，全金屬集成耦合系統(tǒng)

可選附件：

一、膜厚測控儀

膜厚控制儀MTM-20
性能	基于微處理器，4位數(shù)字顯示，復位按鈕， 6MHz晶體（具有壽命檢查功能），5次/s的更新速率
膜厚范圍	0.0 – 999.9nm
分辨率	優(yōu)于 0.1nm
密度范圍	0.50 – 30.00gm/cm³
修正系數(shù)范圍	0.25 – 8.00
鍍膜終止范圍	膜厚0 – 999.9nm