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液體流量計(jì) SLQ-QT105

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產(chǎn)品簡介

液體流量計(jì)SLQ-QT105針對半導(dǎo)體應(yīng)用SLQ-QT105針對要求苛刻的涂料系統(tǒng)的定做,是高達(dá)120ml/min流量的烴基液體的半導(dǎo)體級-傳感器解決方案

詳細(xì)介紹

液體流量計(jì) SLQ-QT105

針對半導(dǎo)體應(yīng)用

SLQ-QT105針對要求苛刻的涂料系統(tǒng)的定做,是高達(dá)120 ml/min流量的烴基液體的半導(dǎo)體級-傳感器解決方案。

該傳感器基于Sensirion成熟的熱式傳感器技術(shù),開辟了靈敏度、可靠性和速度方面的新前景。SLQ-QT105的快速響應(yīng)時(shí)間有助于高度動(dòng)態(tài)過程的準(zhǔn)確監(jiān)測,如快速分配操作。該傳感器配備4x3mm PFA管件,無運(yùn)動(dòng)部件,通過一個(gè)筆直的流道壁進(jìn)行非侵入性測量。所提供的智能數(shù)字接口(如RS485)可實(shí)現(xiàn)具有總線能力的遠(yuǎn)距離通訊。

對于120 ml/min流量的水基液體或高粘度液體,請參閱我們的液體流量計(jì)SLQ-QT500。


性能參數(shù)

  • 烴基液體的流量:120 ml/min
  • 適用于光致抗蝕劑和溶劑
  • 低至流量的靈敏度
  • 快速響應(yīng)時(shí)間低至30 ms
  • RS485、USB或0-10 V模擬電壓輸出
  • 的耐化學(xué)性
  • 惰性觸液材質(zhì):PCTFE、PFA和石英玻璃材料
  • 保證純度
  • 筆直流道,無運(yùn)動(dòng)部件
  • 工作壓力:3 bar(可按要求提供高壓強(qiáng)等級)

應(yīng)用

  • 半導(dǎo)體過程控制
  • 光刻膠分配
  • 快速給藥操作

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