當(dāng)前位置：安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司>>粉體碳包覆設(shè)備>>連續(xù)進出料等離子體增強回轉(zhuǎn)PECVD設(shè)備-BTF-1200C-RP-PECVD

連續(xù)進出料等離子體增強回轉(zhuǎn)PECVD設(shè)備-BTF-1200C-RP-PECVD

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

在線詢價收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：李經(jīng)理 查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-09-11 12:16:08瀏覽次數(shù)：363次

聯(lián)系我時，請告知來自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

  粉體碳包覆設(shè)備

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：10條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：李經(jīng)理

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

1、主要特點　　該款設(shè)備是全自動Plasma增強CVD系統(tǒng)(PECVD)

詳細(xì)介紹

　　1、主要特點

　　該款設(shè)備是全自動Plasma增強CVD系統(tǒng)(PECVD)，連續(xù)可控溫度以及Plasma強度等，配備真空系統(tǒng)，可以低壓條件下實現(xiàn)工藝，PECVD系統(tǒng)能使整個實驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光相對均勻等效，很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，該設(shè)備爐管可360°旋轉(zhuǎn)，有助于粉料的燒結(jié)更均勻，可大角度傾斜，方便進出料，傾斜角度在0-35°之間，所有物料經(jīng)過的管道都選用非金屬材質(zhì)，如：進出料腔體選用石英材質(zhì)，推料桿選用石英及聚四氟材質(zhì)。

　　2、結(jié)構(gòu)與原理圖：

結(jié)構(gòu)圖

連續(xù)進出料等離子體增強回轉(zhuǎn)設(shè)備

設(shè)備組成：加熱系統(tǒng)，Plasma系統(tǒng)，進料系統(tǒng)，出料系統(tǒng)，氣體控制系統(tǒng)，低真空系統(tǒng)，氣料分離系統(tǒng)，過濾系統(tǒng)，爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)，電控操作系統(tǒng)。

　　(1)加熱系統(tǒng)：

　　該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導(dǎo)率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，適合中低溫度加熱系統(tǒng)。高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫，電力調(diào)制器控制;負(fù)載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù)，無須操作人員的干預(yù)，可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號，同時系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。

額定功率	4KW
額定電壓	AC220V 50/60Hz
溫度	1200度
使用溫度	1100度
設(shè)備尺寸	長寬高 21006001200mm
爐管尺寸	?604202+?100360mm
爐管旋轉(zhuǎn)速率	0~60r/min
爐體傾斜角度	0~35°
爐膛材料	氧化鋁、高溫纖維制品
熱電偶類型	K型熱電偶
控溫精度	±1℃
控溫方式	30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為10"液晶觸摸屏控制
加熱長度	200mm+200mm
恒溫長度	250mm
加熱元件	電阻絲

　　(2)Plasma系統(tǒng)：

本系統(tǒng)借助于輝光放電產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中，電子密度高，通過反應(yīng)氣態(tài)放電，有效利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式。

　　(3)進料系統(tǒng)：

　　送料系統(tǒng)速度連續(xù)可調(diào)，停止送料且爐體傾斜時，物料不會從送料系統(tǒng)外漏，送料系統(tǒng)方便拆卸，拆卸后可手動加料，設(shè)備可正常運行。

　　(4)出料系統(tǒng)：

　　出料系統(tǒng)在爐體傾斜出料時可自動出料。

　　(5)氣體控制系統(tǒng)：

　　該控氣系統(tǒng)是可以控制兩種氣體按照不同流量進行混合配比的，也可以獨立控制，質(zhì)量流量計安裝于密封的可移動的機柜內(nèi)，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。

連接頭類型	雙卡套不銹鋼接頭
標(biāo)準(zhǔn)量程（N2)	路: 200 SCCM 第二路: 500 SCCM
準(zhǔn)確度	±1.5%F.S
線性	±1%F.S
重復(fù)精度	±0.2%F.S
響應(yīng)時間	氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec
工作壓差范圍	0.1～0.5 MPa
壓力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
顯示	4位數(shù)字顯示
工作環(huán)境溫度	5~45高純氣體
壓力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥	Φ6
內(nèi)外雙拋不銹鋼管	Φ6

　　(6)低真空系統(tǒng)：

　　該系統(tǒng)配備真空機械泵，可以抽真空，可以讓設(shè)備在真空環(huán)境下進行反應(yīng)。

空氣相對濕度	≤85%
工作環(huán)境	5℃～40℃
工作電電壓	220V±10% 50~60HZ
功率	1KW
抽氣速率	10m3/h
極限真空	5X10-1Pa
工作壓力范圍	1.01325X105～1.33X10-2Pa
耐壓值	0.03MPa
容油量	1.1L
進氣口口徑	KF25
排氣口口徑	KF25
噪音	50dB
外形尺寸	600×600×600mm
連接方式	采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連

(7)氣料分離系統(tǒng)：

　　該系統(tǒng)可以讓設(shè)備在充氣體保護或者抽真空時，實現(xiàn)氣體與物料的分離。

　　(8)過濾系統(tǒng)：

　　該系統(tǒng)可防止物料進入真空泵，保證真空泵的正常運行。

　　(9)爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)：

　　爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào)，且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長時間運行。

　　3、技術(shù)指標(biāo)：

　　(1)該設(shè)備爐管可360度旋轉(zhuǎn)，管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻;

　　(2)整個爐子和送料、收料系統(tǒng)能夠一起傾斜，方便出放料，傾斜角度在0~35°之間可調(diào);

　　(3)送料系統(tǒng)送料速度連續(xù)可調(diào)，停止送料且爐體傾斜時，物料不從送料系統(tǒng)外漏。送料系統(tǒng)方便拆卸，拆卸之后可以手動加料，設(shè)備可正常運行。

　　(4)爐管回轉(zhuǎn)穩(wěn)定，不會上下左右跳動;轉(zhuǎn)速在0~60r/min連續(xù)可調(diào)，能在60r/min轉(zhuǎn)速下連續(xù)長期運轉(zhuǎn)(>24h)。

　　(5)爐子轉(zhuǎn)速，加料速度，傾斜角度，真空度，氣體流量，溫度，運行時間，等離子體功率等參數(shù)都用數(shù)字顯示，并在運行過程記錄設(shè)備整個運行軌跡及上述參數(shù)(在工控及獨立電腦上均能實現(xiàn));

　　(6)設(shè)備運行可分為手動模式與自動模式;自動模式下可實現(xiàn)高度自動化運行，所有參數(shù)程序設(shè)定好后自動運行：可實現(xiàn)按照設(shè)定程序連續(xù)工作，可設(shè)置多工作段不同參數(shù)，并可進行某工作段循環(huán)工作及某程序循環(huán)工作;

關(guān)鍵詞：熱電偶質(zhì)量流量計截止閥真空泵

其他推薦產(chǎn)品更多>>