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更新時間：2022-10-30 14:32:37瀏覽次數(shù)：376次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線熱解碳化硼生長爐主要用于半導(dǎo)體領(lǐng)域，如OLED坩堝、PBN板材/環(huán)舟、VGF坩堝、LEC坩堝等的制備
采用*的控制技術(shù)，能精密控制BCl3/NH3的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動小；
全密閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；
多通道工藝氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；
多級高效尾氣處理系統(tǒng)，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物，環(huán)境友好；
可選配新設(shè)計(jì)的防腐蝕真空機(jī)組，持續(xù)工作時間長，維修率低；
適于工藝氣氛：真空/H2/N2/Ar/BCl3/NH3。
| 參數(shù)/型號 | VCVD-0305-BN | VCVD-0608-BN | VCVD-0612-BN | VCVD-0812-BN | VCVD-1120-BN | VCVD-1218-BN | VCVD-1315-BN | VCVD-1520-BN |
| 工作區(qū)尺寸 φ×H（mm） | 300×500 | 600×800 | 600×1200 | 800×1200 | 1100×2000 | 1200×1800 | 1300×1500 | 1500×2000 |
| 溫度（℃） | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
| 溫度均勻性（℃） | ±5 | ±7.5/±10 | ±7.5/±10 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
結(jié)構(gòu)形式：立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式：手動/自動
爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈
加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC
熱電偶：C分度號
紅外儀：單比色/雙比色
真空泵：機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組
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