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上海四科儀器設(shè)備有限公司


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上海物光光電輪廓儀WGL

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產(chǎn)品型號(hào)WGL

品       牌

廠(chǎng)商性質(zhì)其他

所  在  地上海

聯(lián)系方式:肖斌查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2023-05-23 15:11:26瀏覽次數(shù):168次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:619條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:肖斌

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

本儀器采用非接觸、光學(xué)相移干涉測(cè)量方法,測(cè)量時(shí)不損傷工件表面,能快速測(cè)得各種工件表面微觀(guān)形貌的立體圖形,并分析計(jì)算出測(cè)量結(jié)果。。

詳細(xì)介紹

     特點(diǎn):本儀器采用非接觸、光學(xué)相移干涉測(cè)量方法,測(cè)量時(shí)不損傷工件表面,能快速測(cè)得各種工件表面微觀(guān)形貌的立體圖形,并分析計(jì)算出測(cè)量結(jié)果。適用于測(cè)量各種量塊、光學(xué)零件表面的粗糙度;標(biāo)尺、度盤(pán)的刻線(xiàn)深度;光柵的槽形結(jié)構(gòu)鍍層厚度和鍍層邊界處的結(jié)構(gòu)形貌;磁(光)盤(pán)、磁頭表面結(jié)構(gòu)測(cè)量;硅片表面粗糙度及其上圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量等等。
    由于儀器測(cè)量精度高,具有非接觸和三維測(cè)量的特點(diǎn),并采用計(jì)算機(jī)控制和快速分析、計(jì)算測(cè)量結(jié)果,本儀器適用于各級(jí)測(cè)試、計(jì)量研究單位工礦企業(yè)計(jì)量室,精密加工車(chē)間,也適用于高等院校和科學(xué)研究單位等。 
     

    表面微觀(guān)不平深度測(cè)量范圍
    在連續(xù)表面上,相鄰二象素之間沒(méi)有大于1 / 4 波長(zhǎng)的高度突變時(shí):1000 一1nm 
    相鄰二象素之間含有大于1 / 4 波長(zhǎng)的高度突變時(shí):130 一1nm 
    測(cè)量的重復(fù)性:δRa ≤0.5nm 
    物鏡倍率:40X 
    數(shù)值孔徑:Φ 65  
    工作距離:0.5mm 
    儀器視場(chǎng)  目視: Φ0.25mm
    攝象: 0.13×0.13mm
    儀器放大倍數(shù) 目視: 500× 
    攝象(計(jì)算機(jī)屏幕觀(guān)察)一2500×
    接收器測(cè)量列陣:1000X1000 
    象素尺寸:5.2×5.2µm 
    測(cè)量時(shí)間采樣(掃描)時(shí)間:1S
    儀器標(biāo)準(zhǔn)鏡     反射率(高): ~50 % 
    反射率(低): ~4 %
    照明光源:白熾燈6V 5W
    綠色干涉濾光片波長(zhǎng):λ≒530nm   
    半寬度λ≒10nm   
    主顯微鏡升程:110 mm 
    工作臺(tái)升程:5 mm 
    X 、丫方向移動(dòng)范圍: ~10 mm 
    工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)范圍:360° 
    工作臺(tái)頃斜范圍:±6° 
    計(jì)算機(jī)系統(tǒng):P4 , 2 .8G 以上,內(nèi)存1G以上17寸純平顯示器


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