污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
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聯(lián)系方式：汪紀(jì)彬查看聯(lián)系方式
更新時間：2022-10-19 16:06:22瀏覽次數(shù)：143次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線簡單介紹： 該設(shè)備用于制備多組份、多層復(fù)合的致密的金屬/非金屬、金屬氧化物/氮化物/氮氧化合物、非金屬氧化物/氮化物/氮氧化合物等厚度均勻的薄膜材料，其中靶材可為金屬/非金屬的單組份或多組份材料（包含磁性靶材材料），也可為金屬/非金屬化合物的單組份或多組份材料。樣品能夠在該設(shè)備系統(tǒng)真空室內(nèi)的薄膜沉積處原位退火處理。此外，采用磁控濺射鍍膜后的樣品......
技術(shù)規(guī)格：
本系統(tǒng)由進樣室、硫化/硒化室、兩個濺射室（3靶位+4靶位）、濺射控制系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)、泵抽系統(tǒng)、樣品傳輸控制系統(tǒng)、氣氛控制系統(tǒng)、水循環(huán)制冷系統(tǒng)、完成樣品制備過程電控系統(tǒng)及電腦/觸摸屏程序控制系統(tǒng)等組成；
系統(tǒng)配置可在真空環(huán)境條件下移動樣品的機械手臂，實現(xiàn)樣品在腔體之間的移動,樣品在腔室之間傳遞動作完成后15分鐘內(nèi)相關(guān)腔室真空度恢復(fù)到樣品傳遞之前的水平；
兩濺射室可分別實現(xiàn)3靶位和4靶位的靶材共濺射，相互之間電源等系統(tǒng)無相互干擾，各靶材單獨濺射不受其他靶材的影響，且不污染其它靶材；
系統(tǒng)具有完善的自動保護功能,其中硒化/硫化爐的抽氣入口具有防蒸汽侵蝕保護措施；
各室結(jié)構(gòu)材料均采用上等不銹鋼材料，氬弧焊接和表面拋光處理。
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