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光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)xSuperView W1中圖儀器（chotest）

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深圳市中圖儀器股份有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperViewW1光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器

詳細(xì)介紹

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1 光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。可測(cè)低反射率到高反射率、各類從超光滑到粗糙的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、微觀幾何輪廓、平整度、曲率等，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、光學(xué)加工、3C電子玻璃屏及其精密配件、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

在生產(chǎn)中，微觀上的表面形貌對(duì)工程零件的許多技術(shù)性能的評(píng)價(jià)具有直接的影響，為了能更全面、更真實(shí)地反映零件表面的特征以及衡量表面的質(zhì)量，表面三維微觀形貌的測(cè)量就越來越重要。SuperView W1 光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x是利用白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)，用于樣品表面微觀形貌檢測(cè)的精密儀器?？梢赃_(dá)到納米級(jí)的檢測(cè)精度，并快速獲得被測(cè)工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品功能
1) 一體化操作的測(cè)量與分析軟件，操作無須進(jìn)行切換界面，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能。
2) 測(cè)量中提供自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能、批量測(cè)量、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化功能。
3) 測(cè)量中提供拼接測(cè)量功能。
4) 分析中提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。
5) 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能；幾何輪廓分析包括臺(tái)階高、距離、角度、曲率等特征測(cè)量和直線度、圓度形位公差評(píng)定等功能；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。
6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設(shè)置分析模板，結(jié)合測(cè)量中提供的自動(dòng)測(cè)量和批量測(cè)量功能，可實(shí)現(xiàn)對(duì)小尺寸精密器件的批量測(cè)量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。

產(chǎn)品性能
縱向掃描：≤10.3mm，與選用物鏡相關(guān)
掃描幀速：50FPS/s
粗糙度重復(fù)性：0.005nm（依據(jù)ISO 25178-2012）
光學(xué)分辨率：0.4μm~3.7μm，與選用物鏡相關(guān)
*大點(diǎn)數(shù)：1048576（標(biāo)準(zhǔn)）
臺(tái)階測(cè)量：準(zhǔn)確度≤0.3%，重復(fù)性≤0.08%1σ

SuperView W1 光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x主要用于成品的質(zhì)量管理，確保良品合格率。適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、波紋度、面形輪廓、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量要求的領(lǐng)域中，可以說只有白光干涉儀才能達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度、輪廓等參數(shù)的測(cè)量。

關(guān)鍵詞：光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x 輪廓測(cè)量?jī)x