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JEOL 分析型電子掃描電鏡

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產(chǎn)品型號(hào)JEM-2200FS

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更新時(shí)間:2024-02-09 11:46:26瀏覽次數(shù):225次

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JEOL 分析型電子掃描電鏡

詳細(xì)介紹

JEM-2200FS分析型電子顯微鏡配備場(chǎng)發(fā)射電子槍和Ω型內(nèi)置式能量過濾器(Omega過濾器)。
利用過濾器的功能,不僅可以進(jìn)行樣品中的元素分析,還能分析化學(xué)結(jié)合狀態(tài),從零損失像和能量過濾像中獲得感興趣的有用信息。

鏡筒內(nèi)置式Omega過濾器

鏡筒內(nèi)置式能量過濾器能獲取高精度的能量過濾像及電子能量損失譜,優(yōu)化設(shè)計(jì)的過濾器能提供無畸變的過濾像。

控制系統(tǒng)

電子槍、透鏡、過濾器等電子光學(xué)系統(tǒng)、測(cè)角臺(tái)、抽真空系統(tǒng)等全部由計(jì)算機(jī)控制。系統(tǒng)的穩(wěn)定性高,因此能獲得穩(wěn)定的數(shù)據(jù)

成像系統(tǒng)

采用四級(jí)中間鏡和兩級(jí)投影鏡的新成像系統(tǒng),在很大的倍率和相機(jī)長(zhǎng)度范圍,實(shí)現(xiàn)了TEM像及衍射花樣的磁轉(zhuǎn)角補(bǔ)償(無磁轉(zhuǎn)角)。

壓電陶瓷控制測(cè)角臺(tái)

新的測(cè)角臺(tái)采用了壓電陶瓷,能順利操作原子級(jí)的視場(chǎng)搜索。

物鏡種類*1分辨率
(UHR)型
高分辨率
(HR)型
樣品高傾斜
(HT)型
樣品冷卻
(CR)型
高襯度
(HC)型
分辨率
 點(diǎn)分辨率
 晶格分辨率
0.19 nm
0.1 nm
0.23 nm
0.1 nm
0.25 nm
0.1 nm
0.27 nm
0.14 nm

0.31 nm
0.14 nm

能量分辨率0.8 eV(零損失 FWHM)
加速電壓160 kV,200 kV*2
 最小步長(zhǎng)
 能量位移
50 V
3,000 V(以0.2V為步長(zhǎng))
電子槍
 發(fā)射體ZrO/W(100) 肖特基式
 亮度≧4×108 A/cm2 ? sr
 真空度×10-8 Pa 級(jí)
 探針電流探針直徑為1 nm ,在0.5 nA以上
穩(wěn)定度
 加速電壓≦1×10-6/min
 物鏡電流≦1×10-6/min
 過濾器電流≦1×10-6/min
物鏡
 焦距1.9 mm2.3 mm2.7 mm2.8 mm3.9 mm
 球差系數(shù)0.5 mm1.0 mm1.4 mm2.0 mm3.3 mm
 色差系數(shù)1.1 mm1.4 mm1.8 mm2.1 mm3.0 mm
 最小焦距步長(zhǎng)1.0 nm1.4 nm1.8 nm2.0 nm5.2 nm
束斑尺寸
 TEM 模式2 ~ 5 nm7 ~30 nm
 EDS 模式0.5 ~ 2.4 nm1.0 ~2.4 nm-4 ~20 nm
 NBD 模式--
 CBD 模式1.0 ~2.4 nm-
電子束衍射
 衍射角(2α)1.5 to 20 mrad or more-
 取出角±10 °-
倍率
 MAG 模式×2,000 ~ 1,500,000×2,000 ~ 1,200,000×1,500 ~ 1,000,000×1,200 ~ 600,000
 LOW MAG 模式×50 to1,500
 SA MAG 模式×10,000 ~ 800,000×8,000 ~ 600,000×8,000 ~500,000×5,000 to 400,000
能量過濾像
有效視場(chǎng)大小
80 mm dia. on final image plane (film) when 10 eV is selected
25 mm dia. on final image plane (film) when 2 eV is selected
相機(jī)長(zhǎng)度
 選區(qū)電子衍射150 ~ 1,500mm200 ~ 2,000 mm250 ~ 2,500 mm300 ~ 3,000 mm
EELS 散射
 狹縫上1.2 μm/eV, 200 kV
 最終像平面50 ~ 300 μm/eV, 200 kV
樣品室
 移動(dòng)量(XY / Z)2mm/0.2mm2mm/0.4mm2mm/0.4mm2mm/0.4mm2mm/0.4mm
 傾斜角(X / Y)*3±25°/±25°±35°/±30°±42°/±30°±15°/±10°±38°/±30°
 傾斜角(X)*4±25°±80°±80°±80°±80°
EDS*5
 固體角*60.13 sr-0.09 sr
 取出角25°-20°

*1 : 訂貨時(shí)請(qǐng)選擇物鏡種類。
*2 : 加速電壓80、100、120 kV時(shí),可使用加速管短路開關(guān)(選配件)
*3 : 使用雙傾樣品桿
*4 : 高傾斜樣品臺(tái)使用
*5 : EDS為選配件
*6 : 安裝30mm2 檢測(cè)器時(shí)的數(shù)值


關(guān)鍵詞:電子顯微鏡
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