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GA-370痕量氣體分析儀

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更新時間：2023-03-24 14:22:24瀏覽次數(shù)：194次

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HORIBA, Ltd.

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產(chǎn)品簡介

GA-370痕量氣體分析儀

詳細(xì)介紹

實現(xiàn)對高純度氣體連續(xù)監(jiān)測，主要應(yīng)用于空分和半導(dǎo)體行業(yè)。

實現(xiàn)對高純度氣體中的痕量雜質(zhì)氣體 (CO, CO₂ 和 CH₄) 的超高感度連續(xù)測量。

一般情況下，作為工業(yè)用氣體使用的氧氣，氮?dú)馐峭ㄟ^空氣分離來制造的。

首先將除去水分和CO₂的原料空氣通入分離裝置，分離裝置時利用氮?dú)?、氬氣和氧氣三者氣體的沸點不同進(jìn)行分離出不同氣體。

氫氣和氦氣也是利用類似的氣體分離裝置制備。

GA-370測量實例。高純度氮?dú)?、氬氣、氧氣制造行業(yè)痕量氣體的測定。

除去水分、CO₂后原料氣體中痕量氣體的測量。

交替流動調(diào)制方式雙光路非分光紅外吸收原理

GA-370用一束紅外光透過檢測室射入檢測器，測量過程中通過切換電磁閥將采用氣體和參比氣體切換通入檢測室。

測量樣氣和參比氣體使用相同的氣體（例如零點氣體）時，無法產(chǎn)生調(diào)制信號，因此不會產(chǎn)生漂移，解決了痕量氣體分析中的零點漂移宜問題。

而且使用雙光路檢測氣室，以相反的相位導(dǎo)入測量樣氣和參比氣體，可實現(xiàn)了長期安定穩(wěn)定運(yùn)行，無需光學(xué)調(diào)整。

型號	GA-370
可測量的氣體種類	CO, CO₂, 和CH₄
高純氣體種類	N₂, O₂, He, Ar, H₂, 空氣
測量組分?jǐn)?shù)目	1 組分或 2 組分 (由平衡氣體種類決定)
測量原理	交替流動調(diào)制方式雙光路非分光紅外吸收原理
量程	0 to 1/2/5/10 ppm
檢出限 (2σ)	10 ppb
重復(fù)性	≤ ± 2% F.S.
直線性	≤ ± 2% F.S.
零點量程	≤±0.02ppm/天，≤±0.03ppm/周
量程漂移	≤±2% F. S./天，≤±3%F .S./周
響應(yīng)時間(T₉₀)	≤ 180s
流量 *	測量氧氣：約 3.5 L/min；參比氣體：約 3.5 L/min 量程氣：約 3.5 L/min （注: 測量樣氣和參比氣體的推薦壓力值為50-100 kP）
模擬輸出	最多可選兩路絕緣輸出 (2 組分)； 0 -1 V，0 -10 V，0 -16 mA，4 - 20 mA，0-20mA 中可選1路電流輸出：允許負(fù)載電阻750Ω或以下
安裝環(huán)境	環(huán)境溫度0- 40°C
環(huán)境濕度	≤85%
顆粒物	低于環(huán)境空氣基準(zhǔn)
震動	0.29 m/s2，頻率≤100 Hz
外形尺寸和重量	430(W) × 221(H) × 555(D) mm (含突起部分）；約18 kg
電源	100 - 240 V AC,≤ ±10% （電壓：25 0V )
功率	約100 VA