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超精密Z軸位移臺

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更新時間:2024-02-25 13:26:20瀏覽次數(shù):283次

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產(chǎn)品簡介

作為Zaber廠家電動Z軸升降臺的旗艦型號,采用直線電機,其精度達到1μm,25nm步進,80nm重復精度。1微米精度Z軸電動升降臺配置了一個被動的磁力平衡器,能夠在升降臺斷電的時候,提供55N(約5.5Kg)的支撐力,防止墜落。超高精度Z軸升降臺

詳細介紹

超高精度Z軸升降級臺25nm步進,80nm重復精度,1μm精度


Zaber的X-LDM-AEZ 系列是通過計算機軟件控制的電動Z軸升降臺,X-LDM-AE 直線電機升降臺能在垂直應用中提供高精度、可靠性和高速度。被動的磁力平衡器可補償高達 55 N(約5.5kg) 的負載重量,防止在斷電期間發(fā)生墜落,或者不必要的運動。Z軸升降臺只需一個螺絲即可在幾秒鐘內(nèi)微調(diào)平衡的力。


1μm精度Z軸滑臺是集成一體的獨立單元,其他配件僅包括標準的48 V電源和電纜??赏ㄟ^RS-232 端口或 USB 端口與計算機連接,并且可以與任何其他 Zaber廠家的平移臺進行菊花鏈連接,并可共用一個電源。與 Zaber 的所有產(chǎn)品一樣,X-LDM-AEZ 系列設(shè)計為“即插即用",并且非常易于設(shè)置和操作。 X-LDM-AEZ系列1微米Z軸電動升降臺還包括一個數(shù)字輸入和兩個數(shù)字輸出,用于與外部系統(tǒng)連接。事件驅(qū)動的觸發(fā)系統(tǒng)允許根據(jù) I/O、時間或運動刺激對設(shè)備進行編程以實現(xiàn)獨立操作。



1μm精度Z軸滑臺可通過USB 2.0 或RS232串行端口輕松連接到電腦,并通過 RS-232 向其發(fā)送命令。 Zaber的電動Z軸升降臺提供免費、直觀的 Windows 軟件可以輕松控制設(shè)備的速度和位置、更改設(shè)備設(shè)置和編寫自定義腳本。對于 LabVIEW 用戶,我們提供免費的 LabVIEW 認證驅(qū)動程序。


Zaber公司的電動Z軸升降臺有一個手動的分度旋鈕,即使沒有電腦,也可以通過手動操作旋鈕,實現(xiàn)位移臺在2個方向上以不同的速度平滑運行。在速度模式下,轉(zhuǎn)動旋鈕,滑臺開始以恒定的速度移動,旋鈕有好幾個檔位,調(diào)整不同的檔位,速度會增快或者降低。在位移模式下,旋鈕的每一個增量都使設(shè)備移動一個可配置的距離。按壓旋鈕1秒鐘,可以在兩種模式之間切換。無在任何操作中,你也可以通過按壓旋鈕發(fā)出停止命令。


Zaber 1μm精度Z軸升降臺特點:

1. 1微米精度Z軸電動升降臺通過RS232串行端口(X-SDC 電纜)或 USBX-USBDC 電纜)控制菊花鏈中的所有單元。

2. 可通過X-DC02電纜或X-DC06電纜串聯(lián)其他電動平移臺設(shè)備,并可共用一個電源。

3. 一個分度旋鈕提供方便的手動控制。通過旋鈕可以很容易地實現(xiàn)低至25nm的一致步進。

4. 超高精度Z軸升降臺通過被動的磁力平衡器可以補償高達55N的負重,平衡力可以在幾秒鐘內(nèi)精細調(diào)整,防止斷電墜落。

5. 超高精度Z軸升降臺提供免費的軟件,可以針對任何有效載荷質(zhì)量自動優(yōu)化伺服調(diào)整參數(shù)。 參數(shù)可以即時調(diào)整。

6. X-LDM-AEZ升降臺的設(shè)計具有的可靠性。零移動電纜,結(jié)合非接觸式驅(qū)動和編碼器,形成了一個異常堅固的系統(tǒng)。


7. 1 nm 分辨率線性編碼器安裝在Z軸升降臺,以實現(xiàn)精度和重復性精度。

8. 電動Z軸升降臺超光滑交叉滾子軸承提供長壽命和出色的俯仰pitch、翻滾roll和偏航yaw規(guī)格。

9. 超高精度Z軸升降臺使用側(cè)裝式的無鐵芯直線電機提供出色的動態(tài)性能,同時通過使熱量遠離位移臺的編碼器刻度來提高可重復性。

10. 超高精度Z軸升降臺包含一個數(shù)字輸入和兩個數(shù)字輸出,用于與外部系統(tǒng)連接的接口。


X-LDM-AE系列1微米精度Z軸電動升降臺規(guī)格:

X-LDM-AE規(guī)格

參數(shù)

內(nèi)置控制器

Yes

行程

60 mm / 40mm

2.362"

精度(單向)

1 µm

0.000039"

重復精度

< 0.08 µm

< 0.000003"

Min增量移動

25 nm

Maximum Acceleration

16 m/s2

1.63 g

Max速度

800 mm/s

31.496"/s

Min速度

0.61 nm/s

Speed Resolution

0.61 nm/s

編碼器類型

Linear analog encoder

Encoder Count Size

1 nm

峰值推力

10 N

2.2 lb

連續(xù)推力

25 N

5.6 lb

通訊接口

RS-232

通訊協(xié)議

Zaber ASCII (Default)

Maximum Cantilever Load

1200 N?cm

1699.3 oz?in

導軌類型

Crossed-Roller Bearing

Horizontal Runout

< 4 µm

< 0.000157"

Pitch

0.003°

0.052 mrad

Roll

0.002°

0.035 mrad

Yaw

0.002°

0.035 mrad

Counterbalance Type

Adjustable Magnetic

Counterbalance Payload Range

10-33 N

2.2-7.4 lb

Maximum Current Draw

3000 mA

電源

48 VDC

電源插頭

2-pin screw terminal

電機類型

Moving Magnet Track Linear Motor

數(shù)據(jù)線連接

Locking 4-pin M8

Limit or Home Sensing

Optical Index Mark

Manual Control

Indexed knob with push switch

Axes of Motion

1

LED 指示燈

Yes

安裝孔

M6 threaded holes

工作溫度范圍

0 to 50 °C

真空兼容

No

符合 RoHS 標準

Yes

符合 CE 標準

Yes

移動質(zhì)量

2.32 kg

5.104 lbs

數(shù)字輸入端口

1

數(shù)字輸出端口

2

重量

5.17 kg

11.398 lb


1μm精度Z軸升降臺尺寸圖:



關(guān)鍵詞:位移臺

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