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深圳市萬德泉科技有限公司
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更新時間：2022-08-28 11:23:45瀏覽次數(shù)：224次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線GE50A質量流量控制器MKS GE50A橡膠密封數(shù)字質量流量控制器，滿量程范圍從5sccm–50slm，精度為設定值的±1%、相應速度快于700毫秒、不同氣體及量程間自由切換。1.5吋寬度（GM51A除外）。EtherNet用戶通訊口方便地用于設置和診斷。各種模擬（0-5V或4-20mA）和數(shù)字（RS-485、DeviceNet、Profibus、EtherCAT、Modbus）通訊接......
MKS GE50A橡膠密封數(shù)字質量流量控制器，滿量程范圍從5sccm–50slm，精度為設定值的±1%、相應速度快于700毫秒、不同氣體及量程間自由切換。1.5吋寬度（GM51A除外）。EtherNet用戶通訊口方便地用于設置和診斷。各種模擬（0-5V或4-20mA）和數(shù)字（RS-485、DeviceNet、Profibus、EtherCAT、Modbus）通訊接口可選。
MKS GE50A通用橡膠密封數(shù)字質量流量控制器精度為設定值的± 1%，相應速度快于500毫秒，不同氣體及量程間自由切換。通過一個*的數(shù)字算法，實現(xiàn)了精度的實時流量控制。與通?；赑ID的數(shù)字MFC相比，它由于能實現(xiàn)工藝氣體流量的實時控制而極大提供了控制精度，具有更好的工藝腔室匹配性。
基于EtherNet 用戶通訊口網絡的游覽界面使客戶可以實時地進行控制器的設置和故障排除，從而減少了對“"MFC的替換并且無需中斷工藝氣體輸送。
例：型號GE50A013502R6V010(代表的是氣體介質是氮氣，流量是500sccm，配件法蘭接口是Swagelok 4VCR male，通訊接口是DeviceNet，密封材料是Viton橡膠密封）
GE50A質量流量控制器 采購系列號GE50A
用于標準的氣體(SEMI Gas編號）
| 氮氣，N2 | 013 |
| 氨氣，NH3 | 029 |
| 六氟化硫，SF6 | 110 |
流量范圍，SCCM滿量程（相當于氮氣）
| 5 | 500 |
| 10 | 101 |
| 20 | 201 |
| 50 | 501 |
| 100 | 102 |
| 200 | 202 |
| 500 | 502 |
| 1000 | 103 |
| 2000 | 203 |
| 5000 | 503 |
| 10000 | 104 |
| 20000 | 204 |
| 30000 | 304 |
| 50000 | 504 |
裝配件（法蘭接口）
| Swagelok 4VCR male | R |
| 1/4 Swagelok | S |
| C-Seal,(92mm port to port) | C |
| W-Seal,(92mm port to port) | H |
通訊接口
| Profibus | 4 |
| RS485 | 5 |
| DeviceNet | 6 |
| Analog 0 to 5 VDC（9針D型） | A |
| Analog 0 to 5VDC （15針D型） | B |
| Analog 4 to mA（15針D型） | H |
密封材料
| 標配：Viton | V |
| 選配：Neoprene | N |
| 選配：Buna-N | B |
| 選配：Kalrez | K |
預留MKS的未來應用
| 標準 | 0 |
固化軟件版本
| 除非另有說明，MKS會安裝訂貨日期的固化版本軟件 | 10 |
滿量程流量為3位數(shù)字顯示，前兩位表示量程流量的有效數(shù)字，由小數(shù)點分開；第三位表示10的指數(shù)
注：其他氣體可選，*替代MKS 1179A質量流量控制器
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