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蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司
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更新時間：2022-11-09 16:15:08瀏覽次數(shù)：216次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線該勻膠機(jī)采用觸摸屏設(shè)置可用于直徑28~200mm晶片涂覆，儀器配有“安全開關(guān)按鈕"，轉(zhuǎn)速范圍300-8500RPM,可選無油或有油真空泵等配件。
一、臺式勻膠機(jī)旋涂儀產(chǎn)品簡介
WH-SC-01勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝，制版及表面涂覆等工藝，可在科研、教育等單位作科研、教學(xué)之用。其總體設(shè)計由蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司獨(dú)立開發(fā)完成，具有獨(dú)立知識產(chǎn)權(quán)。
勻膠機(jī)快速啟動和穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速，能夠保證膠厚度的一致性和均勻性。采用全觸摸屏控制，三檔轉(zhuǎn)速。在啟動之后先在低速下進(jìn)行勻膠，之后切換至高速下進(jìn)行甩膠，轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào)；實(shí)現(xiàn)啟停可控，轉(zhuǎn)速實(shí)時觀察等功能。儀器配置“安全開關(guān)"按鈕，當(dāng)進(jìn)行高速運(yùn)轉(zhuǎn)時，關(guān)上上蓋后，“安全開關(guān)"啟動，運(yùn)行過程中，上蓋不能打開?？梢云鸬奖Ｗo(hù)作用。
點(diǎn)擊下載產(chǎn)品說明書
點(diǎn)擊下載外觀設(shè)計
二、臺式勻膠機(jī)旋涂儀技術(shù)參數(shù)
1.轉(zhuǎn)速：硅片4英寸（含）以內(nèi)300-8500RPM；4-6英寸（含）以內(nèi)300-6000RPM；
2.時間控制：1-32767s；
3.轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：±1%；
4.膠的均勻性：±3%；
5.參數(shù)設(shè)定：觸摸屏設(shè)置參數(shù)；
6.適用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等勻膠；
7.電源輸入：AC220V±10V，50HZ；
8.功率：60W；
9.重量：13kg；
10.外形尺寸：300（W）*227（H）*350（D）；
11.工作環(huán)境：溫度0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %。
三、臺式勻膠機(jī)旋涂儀特征圖解
①防撞墊②勻膠托盤③觸摸屏④專用吸附盤⑤觀察窗⑥蓋板 ⑦抽氣孔⑧電源插口及開關(guān)
四、臺式勻膠機(jī)旋涂儀操作說明
（1）選擇合適的專用吸附盤（略小于樣本尺寸），將缺口對準(zhǔn)螺釘安裝，吸附盤安裝時一定要插入到底。
（2）開啟電源，進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置頁面?？煞謩e設(shè)置三個階段轉(zhuǎn)速和時間，按工藝設(shè)置好轉(zhuǎn)速和時間，點(diǎn)擊“確定"。
（3）進(jìn)入啟動儀器界面，放片，要注意放正。打開真空泵，點(diǎn)擊“吸盤"后點(diǎn)“啟動"，儀器開始運(yùn)行。轉(zhuǎn)速和運(yùn)行階段以及當(dāng)前階段剩余時間可在顯示屏上實(shí)時觀察。
（4）滴膠，動作要快。在階段運(yùn)轉(zhuǎn)時間內(nèi)滴膠完畢，關(guān)上上蓋；隨時間推移自動運(yùn)行第二和第三階段。關(guān)上上蓋后，安全開關(guān)啟動，必須等到儀器停止運(yùn)行，上蓋才能被打開。
（5）電機(jī)停轉(zhuǎn)后，點(diǎn)擊脫盤，吸片停止。打開上蓋，取下片子。
（6）繼續(xù)勻膠時重復(fù)以上步驟。
（8）勻膠結(jié)束后，關(guān)上上蓋，切斷電源。
五、臺式勻膠機(jī)旋涂儀維護(hù)清洗
屬下列情況之一時，需要對抽氣室進(jìn)行清洗
1.正常使用半個月的；
2.膠被吸入抽氣室的；
3.電機(jī)轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定或被卡住轉(zhuǎn)不動的。
下列故障非本機(jī)故障，用戶可參考自行解決，若仍不能排除故障，請及時本公司服務(wù)熱線：
故障現(xiàn)象 | 原因 | 排除 |
電機(jī)不轉(zhuǎn) | 1.電源線沒插好 | 插好電源線 |
2.保險管熔斷 | 換用同規(guī)格新的保險管 | |
硅片沒吸住 | 1.吸氣管未插 | 插好吸氣管 |
2.真空泵沒開 | 打開真空泵 |
七、臺式勻膠機(jī)旋涂儀安全注意事項(xiàng)
拆開包裝后，請按照裝箱單詳細(xì)檢查配件，如有缺失，請聯(lián)系銷售商。注意必須將所有包裝和泡沫墊卸下，否則有可能因熱量不易散發(fā)或受到其它外界因素的影響引起火災(zāi)。
操作前請詳細(xì)閱讀本說明全部內(nèi)容，并嚴(yán)格按照要求依次進(jìn)行操作。若用戶因不規(guī)范操作或違規(guī)操作而導(dǎo)致的人身傷害事故、儀器損害、財產(chǎn)損失，制造商將不予承擔(dān)。
(1) 安置本儀器的桌（臺）面應(yīng)堅實(shí)平整，四只橡膠腳墊應(yīng)與桌（臺）面平穩(wěn)接觸，否則會產(chǎn)生儀器不平穩(wěn)，從而導(dǎo)致超標(biāo)準(zhǔn)的震動，致使器件損傷或儀器停止運(yùn)行。
(2) 儀器工作時，操作人員不得倚靠在儀器上，非工作人員不得在非安全空間內(nèi)逗留，勻膠機(jī)周圍不得放置危險物品。
(3) 所甩樣片的尺寸要大于吸附盤有效尺寸2-3mm左右，如果用大吸附盤甩小的樣片就會產(chǎn)生漏氣，同時造成膠被吸入抽氣室，導(dǎo)致氣路堵塞。
(4) 如果不慎膠被吸入了抽氣室，要立刻進(jìn)行清洗，否則吸附盤、光電盤、電機(jī)軸會黏在一起，造成電機(jī)轉(zhuǎn)不動，拆卸亦很困難。
(5) 氣路堵塞或氣泵損壞時電機(jī)也可運(yùn)轉(zhuǎn)產(chǎn)生飛片，故在啟動電機(jī)前須確認(rèn)氣泵的狀況良好及吸片確已吸住。
(6) 儀器出現(xiàn)故障應(yīng)及時與銷售商或廠家聯(lián)系，切勿自行打開機(jī)殼。嚴(yán)禁非專業(yè)人員維修，維修時必須先拔下電源插頭，防止事故發(fā)生。
八、臺式勻膠機(jī)旋涂儀裝箱清單
名稱 | 單位 | 數(shù)量 |
勻膠機(jī)機(jī)體 | 臺 | 1 |
電源線 | 份 | 1 |
專用吸附盤4寸 | 個 | 1 |
勻膠托盤 | 個 | 1 |
專用吸附盤1寸、2寸、3寸 | 個 | 選配 |
真空泵 | 個 | 1 |
?6氣管 | M | 3 |
使用手冊 | 份 | 1 |
質(zhì)檢報告 | 份 | 1 |
合格證 | 份 | 1 |
保修卡 | 份 | 1 |
無油真空泵技術(shù)參數(shù)無油真空泵：又稱干式真空泵，是泵的工作腔內(nèi)沒有任何介質(zhì)，可以原汁原味的回收氣體。
? 型號：AP-550V
? 抽速：1.5 升/秒
? 功率：320W
? 噪音：58db
? 電壓、頻率：~220V/50HZ
? 真空度：-700mmHg
? 重量：5.8kg
? 外形尺寸：240×130×200mm
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