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WH-SC-01 勻膠機(jī)

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更新時(shí)間：2022-11-09 16:15:08瀏覽次數(shù)：191次

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蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

該勻膠機(jī)采用觸摸屏設(shè)置可用于直徑28~200mm晶片涂覆，儀器配有“安全開(kāi)關(guān)按鈕"，轉(zhuǎn)速范圍300-8500RPM,可選無(wú)油或有油真空泵等配件。

詳細(xì)介紹

一、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x產(chǎn)品簡(jiǎn)介

WH-SC-01勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝，制版及表面涂覆等工藝，可在科研、教育等單位作科研、教學(xué)之用。其總體設(shè)計(jì)由蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司獨(dú)立開(kāi)發(fā)完成，具有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

勻膠機(jī)快速啟動(dòng)和穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速，能夠保證膠厚度的一致性和均勻性。采用全觸摸屏控制，三檔轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后先在低速下進(jìn)行勻膠，之后切換至高速下進(jìn)行甩膠，轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào)；實(shí)現(xiàn)啟?？煽?，轉(zhuǎn)速實(shí)時(shí)觀察等功能。儀器配置“安全開(kāi)關(guān)"按鈕，當(dāng)進(jìn)行高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，關(guān)上上蓋后，“安全開(kāi)關(guān)"啟動(dòng)，運(yùn)行過(guò)程中，上蓋不能打開(kāi)。可以起到保護(hù)作用。

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二、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x技術(shù)參數(shù)

1.轉(zhuǎn)速：硅片4英寸（含）以內(nèi)300-8500RPM；4-6英寸（含）以內(nèi)300-6000RPM；

2.時(shí)間控制：1-32767s；

3.轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：±1%；

4.膠的均勻性：±3%；

5.參數(shù)設(shè)定：觸摸屏設(shè)置參數(shù)；

6.適用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等勻膠；

7.電源輸入：AC220V±10V，50HZ；

8.功率：60W；

9.重量：13kg；

10.外形尺寸：300（W）*227（H）*350（D）；

11.工作環(huán)境：溫度0℃-40 ℃，相對(duì)濕度＜80 %。

三、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x特征圖解

汶顥臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x特征圖解汶顥臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x特征圖解2

①防撞墊②勻膠托盤(pán)③觸摸屏④專用吸附盤(pán)⑤觀察窗⑥蓋板 ⑦抽氣孔⑧電源插口及開(kāi)關(guān)

四、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x操作說(shuō)明

（1）選擇合適的專用吸附盤(pán)（略小于樣本尺寸），將缺口對(duì)準(zhǔn)螺釘安裝，吸附盤(pán)安裝時(shí)一定要插入到底。

（2）開(kāi)啟電源，進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置頁(yè)面。可分別設(shè)置三個(gè)階段轉(zhuǎn)速和時(shí)間，按工藝設(shè)置好轉(zhuǎn)速和時(shí)間，點(diǎn)擊“確定"。

（3）進(jìn)入啟動(dòng)儀器界面，放片，要注意放正。打開(kāi)真空泵，點(diǎn)擊“吸盤(pán)"后點(diǎn)“啟動(dòng)"，儀器開(kāi)始運(yùn)行。轉(zhuǎn)速和運(yùn)行階段以及當(dāng)前階段剩余時(shí)間可在顯示屏上實(shí)時(shí)觀察。

（4）滴膠，動(dòng)作要快。在階段運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間內(nèi)滴膠完畢，關(guān)上上蓋；隨時(shí)間推移自動(dòng)運(yùn)行第二和第三階段。關(guān)上上蓋后，安全開(kāi)關(guān)啟動(dòng)，必須等到儀器停止運(yùn)行，上蓋才能被打開(kāi)。

（5）電機(jī)停轉(zhuǎn)后，點(diǎn)擊脫盤(pán)，吸片停止。打開(kāi)上蓋，取下片子。

（6）繼續(xù)勻膠時(shí)重復(fù)以上步驟。

（8）勻膠結(jié)束后，關(guān)上上蓋，切斷電源。

五、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x維護(hù)清洗

屬下列情況之一時(shí)，需要對(duì)抽氣室進(jìn)行清洗

1.正常使用半個(gè)月的；

2.膠被吸入抽氣室的；

3.電機(jī)轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定或被卡住轉(zhuǎn)不動(dòng)的。

六、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x常見(jiàn)故障排除

下列故障非本機(jī)故障，用戶可參考自行解決，若仍不能排除故障，請(qǐng)及時(shí)本公司服務(wù)熱線：

故障現(xiàn)象	原因	排除
電機(jī)不轉(zhuǎn)	1.電源線沒(méi)插好	插好電源線
電機(jī)不轉(zhuǎn)	2.保險(xiǎn)管熔斷	換用同規(guī)格新的保險(xiǎn)管
硅片沒(méi)吸住	1.吸氣管未插	插好吸氣管
硅片沒(méi)吸住	2.真空泵沒(méi)開(kāi)	打開(kāi)真空泵

七、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x安全注意事項(xiàng)

拆開(kāi)包裝后，請(qǐng)按照裝箱單詳細(xì)檢查配件，如有缺失，請(qǐng)聯(lián)系銷售商。注意必須將所有包裝和泡沫墊卸下，否則有可能因熱量不易散發(fā)或受到其它外界因素的影響引起火災(zāi)。

操作前請(qǐng)?jiān)敿?xì)閱讀本說(shuō)明全部?jī)?nèi)容，并嚴(yán)格按照要求依次進(jìn)行操作。若用戶因不規(guī)范操作或違規(guī)操作而導(dǎo)致的人身傷害事故、儀器損害、財(cái)產(chǎn)損失，制造商將不予承擔(dān)。

(1) 安置本儀器的桌（臺(tái)）面應(yīng)堅(jiān)實(shí)平整，四只橡膠腳墊應(yīng)與桌（臺(tái)）面平穩(wěn)接觸，否則會(huì)產(chǎn)生儀器不平穩(wěn)，從而導(dǎo)致超標(biāo)準(zhǔn)的震動(dòng)，致使器件損傷或儀器停止運(yùn)行。

(2) 儀器工作時(shí)，操作人員不得倚靠在儀器上，非工作人員不得在非安全空間內(nèi)逗留，勻膠機(jī)周圍不得放置危險(xiǎn)物品。

(3) 所甩樣片的尺寸要大于吸附盤(pán)有效尺寸2-3mm左右，如果用大吸附盤(pán)甩小的樣片就會(huì)產(chǎn)生漏氣，同時(shí)造成膠被吸入抽氣室，導(dǎo)致氣路堵塞。

(4) 如果不慎膠被吸入了抽氣室，要立刻進(jìn)行清洗，否則吸附盤(pán)、光電盤(pán)、電機(jī)軸會(huì)黏在一起，造成電機(jī)轉(zhuǎn)不動(dòng)，拆卸亦很困難。

(5) 氣路堵塞或氣泵損壞時(shí)電機(jī)也可運(yùn)轉(zhuǎn)產(chǎn)生飛片，故在啟動(dòng)電機(jī)前須確認(rèn)氣泵的狀況良好及吸片確已吸住。

(6) 儀器出現(xiàn)故障應(yīng)及時(shí)與銷售商或廠家聯(lián)系，切勿自行打開(kāi)機(jī)殼。嚴(yán)禁非專業(yè)人員維修，維修時(shí)必須先拔下電源插頭，防止事故發(fā)生。

八、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x裝箱清單

名稱	單位	數(shù)量
勻膠機(jī)機(jī)體	臺(tái)	1
電源線	份	1
專用吸附盤(pán)4寸	個(gè)	1
勻膠托盤(pán)	個(gè)	1
專用吸附盤(pán)1寸、2寸、3寸	個(gè)	選配
真空泵	個(gè)	1
?6氣管	M	3
使用手冊(cè)	份	1
質(zhì)檢報(bào)告	份	1
合格證	份	1
保修卡	份	1