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浚和（上海）儀器有限公司
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更新時(shí)間：2022-10-12 13:46:32瀏覽次數(shù)：204次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 環(huán)保在線YAMATO等離子清洗機(jī)PR1000
高頻等離子表面處理裝置。 型號 PR1000 方式 DP模式、圓柱形腔體 性能 發(fā)生器功率： 0-1000W 發(fā)生器頻率： 射頻RF13.56Mhz 發(fā)生器匹配方式： 自動匹配（Auto matching) 構(gòu)成 腔體材質(zhì)： 石英 腔體內(nèi)尺寸： φ400×L500mm 約62.8L 反應(yīng)氣體： 雙路工藝氣體，其中一路可支持氧氣、氬氣、氮?dú)獾确歉g性氣體，一路防腐蝕氣路支持CF4. 填充氣體： 一路氮?dú)?/span> 控制方式： 全自動控制，7寸液晶觸摸屏 真空度顯示： 測量高真空的電離式真空計(jì)標(biāo)準(zhǔn)配備，實(shí)時(shí)顯示腔體內(nèi)真空度 配管材質(zhì)： SUS不銹鋼以及特氟龍 門： 鉸鏈門 涂裝顏色： 標(biāo)準(zhǔn)色，白系 外形尺寸： W800×D919×H1958mm （高度含警報(bào)燈） 真空泵： 無油干式真空泵 抽速60m3/hour，吸氣口NW40,排氣口NW25 電源規(guī)格： 3phase AC200V 50/60Hz 8A 重量： 約215kg 附屬品 真空管件一套、真空轉(zhuǎn)接接頭一套、6寸、8寸石英舟各一枚
■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-1000W高功率機(jī)型，發(fā)生器自動匹配，無需調(diào)節(jié)反射波，進(jìn)一步增加的操作的便捷性。
● 標(biāo)準(zhǔn)配備電離式真空計(jì)，實(shí)時(shí)顯示真空度，使得控制更為精確。
● 純凈石英腔體非常適合于實(shí)驗(yàn)室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無需擔(dān)憂因?yàn)榍惑w材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?/span>
■ 安全性·保護(hù)
● 裝載有氣體流量、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報(bào)警燈，可實(shí)時(shí)監(jiān)測和了解機(jī)器的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。
● 裝載有過電流漏電保護(hù)、真空泵、RF發(fā)生器，以及電源各部分均標(biāo)準(zhǔn)配備過電流漏電保護(hù)裝置。
● 發(fā)生器保護(hù)回路：超負(fù)荷或者RF發(fā)生器發(fā)生問題時(shí)，可自動調(diào)低頻率來保護(hù)發(fā)生器。
● 門鎖開關(guān)：門在未*關(guān)閉時(shí)無法啟動電源。
● 側(cè)板鎖：本體側(cè)板突然打開或者未關(guān)好時(shí)，會停止電源。
● 緊急停止按鍵（EMO）標(biāo)準(zhǔn)配備。
● 運(yùn)行中ERR報(bào)警：運(yùn)行中出現(xiàn)以下問題設(shè)備會出現(xiàn)ERR報(bào)警，并停止裝置：RF輸出值與設(shè)定值不符，氣體流量值與設(shè)定值不符，RF反射波超過一定范圍，真空度未達(dá)到設(shè)定值，等離子處理后，設(shè)定時(shí)間內(nèi)，未恢復(fù)到大氣壓。
■ 產(chǎn)品優(yōu)勢
●等離子清洗機(jī)清洗效果好，清洗效率高，功率大，應(yīng)用范圍廣。
●對清洗樣品，沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達(dá)到常溫處理。
●高效的特制電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結(jié)構(gòu)，可保證樣品可得到全面有效的清洗。
●安全保護(hù)措施綿密，有效防止對機(jī)器以及樣品的損害。
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