1、激發(fā)系統(tǒng)
　　能夠影響樣品激發(fā)結(jié)果的因素可總結(jié)為4條：
　　(1)激發(fā)能量
　　能量提供的方式不同如直流電弧、火花的激發(fā)效果是不同的，火花中的激發(fā)脈沖寬度、脈沖高度、脈沖頻率不同對于不同元素的激發(fā)效果亦不同，因此在不同型號的儀器中，需根據(jù)所測樣品的實際情況，慎重選擇激發(fā)能量參數(shù)。直讀光譜儀
　　(2)激發(fā)環(huán)境
　　一般主要可分為實驗室濕度環(huán)境和氬氣氣氛兩方面不同型號儀器的氬氣氣路設計可能會有不同，不過氬氣本身的純度和氣路是否漏氣應當是對激發(fā)環(huán)境檢查和維護的重點。
　　(3)樣品
　　樣品的材質(zhì)、取樣、前處理等各方面，均對激發(fā)效果影響重大，在使用和維護時，需特別注意我們的激發(fā)對象的狀態(tài)是否符合要求。 
　　(4)激發(fā)臺內(nèi)部情況
　　不同型號的儀器的激發(fā)臺內(nèi)部結(jié)構(gòu)不同，但總體來講，激發(fā)臺內(nèi)部是否清潔、電極極距是否穩(wěn)定，激發(fā)臺發(fā)光弧焰相對于光學系統(tǒng)的高度等，均會影響我們的數(shù)據(jù)結(jié)果。
　　總之，對于不同型號，不同廠家的儀器來說，此4條因素的實現(xiàn)形式可能略有不同，但是總體上維護和維修激發(fā)系統(tǒng)的方向在此。
　　2、光學系統(tǒng)
　　(1)光路結(jié)構(gòu)穩(wěn)定
　　機械變形小，校正到位，可通過恒溫和狹縫掃描來控制。
　　(2)光路中對于紫外、真空紫外區(qū)光譜線在光室中的傳輸過程中損耗小，可通過氣循環(huán)或抽真空的方式進行維護。那么，對真空泵等器件的維護成為重點，此外，透光鏡片的定期擦拭也成了保證光信號傳輸效率穩(wěn)定的重要操作。對于不同型號的儀器來說同，光學系統(tǒng)的穩(wěn)定和光信號傳輸效率都是很重要的影響因素，因此需根據(jù)各儀器的實際情況進行儀器的維護和檢查安排。
　　3測量系統(tǒng)
　　(1)采集器件保持穩(wěn)定合適的工作狀態(tài)
　　采集器件為光電轉(zhuǎn)換元件，目前的光電直讀光譜儀主要采用的是兩大類采集器，一種是光電倍增管，另外一種是CCD/CID檢測器，固體成像系統(tǒng)，任何一種采集器件，都存在著一個和照射光強、工作供電以及輸出電信號強度三個方面有關(guān)的函數(shù)，針對不同的光強，不同的供電，采集器的光電轉(zhuǎn)換效率，以及它的靈敏度、穩(wěn)定性都會有很大的影響。所以如需自己調(diào)節(jié)這些參數(shù)需謹慎咨詢儀器生產(chǎn)商的意見后或嚴格按照儀器說明書進行調(diào)整
　　(2)信號轉(zhuǎn)換的電路板及芯片不能長期處于潮濕、積灰過多的條件下，大部分電路板、芯片遇到灰塵過多或濕度過大的情況都會產(chǎn)生漏電現(xiàn)象，這就會在整個測量系統(tǒng)中產(chǎn)生暗電流，當暗電流大到一定程度有可能造成測量系統(tǒng)電路中的器件損毀的情況。所以務必要保護好儀器的測量系統(tǒng)。有些型號的儀器測量系統(tǒng)置于分光室內(nèi)部一般情況下不需考慮。但如出現(xiàn)真空泵油倒吸等情況需立即和儀器生產(chǎn)商的技術(shù)支持聯(lián)系。