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上海爾迪儀器科技有限公司

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等離子清洗機 YSP63FA 實驗室等離子清洗機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

更新時間：2023-06-09 09:02:30瀏覽次數(shù)：325次

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技術(shù)應(yīng)用鏈接:●操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒
技術(shù)應(yīng)用鏈接:

● 操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。
● 軟性基板也可以進行傳送操作。
● 傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)。
● 可通過網(wǎng)絡(luò)進行遠程操作（選購品）。

未找到相應(yīng)參數(shù)組，請于后臺屬性模板中添加

型號

YSP63FA

模式

RIE（DP模式選購）

高頻輸功率

600W

反應(yīng)臺尺寸

W385×D362mm

內(nèi)腔尺寸

W395×D378×H45mm（內(nèi)尺寸）

反應(yīng)氣體

2進氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣）

反應(yīng)氣體流量控制

質(zhì)量流量控制器

真空泵

旋轉(zhuǎn)式真空泵（約500L/min）

氣體導入口

反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個

外形尺寸

W1860×D1100×H1800mm

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