特點(diǎn)：
· 低壓等離子系統(tǒng)，用于不同材料表面的處理
· 配置自動(dòng)/手動(dòng)模式，實(shí)現(xiàn)控制高機(jī)能
· 經(jīng)濟(jì)型等離子清洗機(jī)，小型腔體
· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用
· 操作簡(jiǎn)單易使用
Diener 等離子清洗機(jī) FEMTO技術(shù)參數(shù)：
型號(hào) | FEMTO | FEMTO PCCE | |||
控制系統(tǒng) | 手動(dòng)控制 | PCCE 控制系統(tǒng) | |||
工藝氣路 | 雙路或三路氣體 | ||||
工藝氣體 | O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蝕性氣體或者CF4 、SF6等腐蝕性氣體 | ||||
單體導(dǎo)入 | H2O，親疏水涂層等單體（選配） | ||||
流量計(jì) | 針閥流量計(jì)（防腐蝕） | MFC流量計(jì)（防腐蝕） | |||
真空 腔體 | 材質(zhì) | 高硼硅玻璃/石英 蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗 | 不銹鋼 蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗 | 鋁合金 鉸鏈門帶觀察窗 | |
圓形腔體內(nèi)尺寸(Φ×D)mm | 95×280( 600) | 100×278( 600) | — | ||
方形腔體 內(nèi)尺寸 （W×D×H）mm | — | 103×285( 600)×103 mm | 110×300( 600) ×120 | ||
容積 | 2 L~4.2L | 2.2L~6.4L | 4L~8L | ||
電極 | 360度外置環(huán)繞電極 | 平行平板電極 | |||
發(fā)生器*
| 40KHz 0~100 W 100KHz 0-500W 13.56MHz 0~50 W 或者0~300 W 2.45GHz 0-300W | ||||
真空壓力計(jì) | 指針式壓力計(jì) | 皮拉尼數(shù)字式壓力計(jì) | |||
計(jì)時(shí)器 | 模擬數(shù)字式 | 數(shù)字式 | |||
托盤 | 高硼硅玻璃/石英，不銹鋼 | ||||
外形尺寸（WXDxH）mm | 310-560x420-600x330-860mm | ||||
電源 | AC220V 50Hz 10A | ||||
真空泵 | 排氣速度不小于4m3/H | ||||
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