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武漢吉普電氣有限公司


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2101C型離子減薄儀

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產(chǎn)品描述:我公司生產(chǎn)經(jīng)銷(xiāo)的2101T系列離子減薄儀是專為透射電子顯微鏡(TEM)研制的樣品制備設(shè)備

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產(chǎn)品描述:
我公司生產(chǎn)經(jīng)銷(xiāo)的2101T系列離子減薄儀是專為透射電子顯微鏡(TEM)研制的樣品制備設(shè)備。 適用于金屬、陶瓷及半導(dǎo)體等固體材料的TEM樣品的減薄與拋光。 其由小角度樣品旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)(Small incidence angle specimen rotation system, SIASRS)()、 高真空系統(tǒng)(High vacuum system, HVS),高壓電源系統(tǒng)(High voltage power system, HVS)、 氣動(dòng)快速換樣系統(tǒng)(Pneumatic rapid specimen exchanger)()以及高能聚焦離子槍等主要部分組成。
離子減薄儀是TEM(透射電鏡)實(shí)驗(yàn)中制樣的關(guān)鍵設(shè)備,該設(shè)備使氬氣在高壓電場(chǎng)的作用下電離,產(chǎn)生高能離子束, 并通過(guò)高壓電場(chǎng)加速,使氬離子加速并聚焦成小于1mm直徑的離子束,經(jīng)過(guò)聚焦的離子束對(duì)樣品表面進(jìn)行鏟磨拋光, 使樣品的厚度逐漸減小,從而達(dá)到均勻減薄樣品的目的。

 

產(chǎn)品特點(diǎn):
1.樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定,對(duì)離子束無(wú)遮擋。
2.離子束掠射角小,樣品薄區(qū)大。
3.系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊,樣品減薄速度高。
4.樣品臺(tái)導(dǎo)熱性能好。

 

主要技術(shù)指標(biāo):
1.電源:1.2kW AC 220V – 240V 50Hz
2.氣源:>0.1 MPa 氬氣(Ar)
3.高壓電源:0 – 20kV (連續(xù)可調(diào),短路保護(hù))
4.離子束電流:0 – 2mA
5.離子束掠射角:0 –90°(雙面)
6.自動(dòng)保護(hù):高壓電源系統(tǒng),樣品旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)。
7.抽真空速率:分子加速泵 67L/min,前置泵組 150L/min
8.樣品尺寸:3mm 直徑
9.樣品減薄速率:40μm/h(Cu)

 

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