本體數(shù)顯熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計BDD-S030C/M主要應(yīng)用在量程范圍從5SCCM--50SLM之間氣體流量的測量和控制，產(chǎn)品耐壓能達(dá)5Mpa，采用新型傳感制作工藝，具有響應(yīng)速度快、準(zhǔn)確度高、流量控制穩(wěn)定、耐壓高、線性度好等優(yōu)點，適用于絕大多數(shù)干燥、干凈的氣體（及少數(shù)腐蝕性氣體）

詳細(xì)介紹

性能特點：

1、本體數(shù)顯操作方便 2、耐壓5Mpa

3、抗干擾性強(qiáng) 4、寬壓力范圍

5、流量控制精準(zhǔn) 6、數(shù)據(jù)傳輸距離遠(yuǎn)

技術(shù)參數(shù)：

氣體質(zhì)量流量控制器/流量計出廠通常用氮氣（N2）標(biāo)定。

質(zhì)量流量單位：SCCM（標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘） SLM（標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘）

標(biāo)準(zhǔn)狀況：溫度--293.15K(20℃) 壓力--101325Pa（760mmHg）

F.S（Full Scale）表示滿量程

型號	BDD-S030C	BDD-S030M
流量規(guī)格	5SCCM---50SLM
控制量程（N2)	2—99%	2—99%
精度	≤±1%F.S
線性	≤±0.5%F.S
重復(fù)性	≤±0.2%F.S
閥門類型	常閉閥
響應(yīng)時間	1—2S
耐壓	50Bar
通訊信號	模擬通訊 0—5V或4—20mA 數(shù)字通訊 RS485
供電方式	﹢14VDC—27VDC（300mA)
泄露率	1X10-9atm.cc/sec.He

本體數(shù)顯熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計BDD-S030C/M應(yīng)用行業(yè)：真空鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體工藝設(shè)備、化學(xué)與化工實驗設(shè)備、食品科學(xué)與工程設(shè)備、能源與環(huán)境保護(hù)設(shè)備、各種分析儀器設(shè)備、表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研院所實驗室設(shè)備

關(guān)鍵詞：質(zhì)量流量控制器流量計流量控制器

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