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真空氣相沉積爐高溫?zé)Y(jié)爐

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更新時(shí)間：2023-01-18 09:43:17瀏覽次數(shù)：696次

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蘇州哈騰科技有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備用途本設(shè)備主要用于碳素制品的化學(xué)氣相沉積增密處理，或以碳?xì)錃怏w為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理及碳?xì)种破氛婵仗蓟錈崽幚?/p>

詳細(xì)介紹

設(shè)備用途

本設(shè)備主要用于碳素制品的化學(xué)氣相沉積增密處理，或以碳?xì)錃怏w為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理及碳?xì)种破氛婵仗蓟錈崽幚怼?

設(shè)備特點(diǎn)

1.雙層SUS304爐體結(jié)構(gòu)，中間通以冷卻水，有效降低爐體表面溫度，減少高溫傷害，降低對(duì)環(huán)境的影響；
2.采用*的保溫材料及隔熱結(jié)構(gòu)，導(dǎo)熱系數(shù)低，保溫效果好，即使在很高的溫度下也能有效隔絕熱量，節(jié)約能耗；
3.能夠準(zhǔn)確控制氣體流量和壓力，通過特殊的導(dǎo)氣結(jié)構(gòu)和裝置，大大提高產(chǎn)品的合格率，降低沉積時(shí)間；
4.通過特殊的過濾裝置，使其熱解過程的碳粉幾乎*過濾，不進(jìn)入真空機(jī)組，大大延長(zhǎng)了真空機(jī)組的使用壽命；
5.人性化配置，既可以手動(dòng)操作，也可以實(shí)現(xiàn)一鍵智能操作；
6.型式多樣化，立式上開門、立式底升式、臥式側(cè)開門，任意選擇；
7.本產(chǎn)品接受非標(biāo)定制。

設(shè)備參數(shù)

型號(hào)	工作區(qū)尺寸 D×H	溫度 ℃	溫度均勻性 ℃	冷態(tài)極限真空度 Pa	壓升率 Pa/h	加熱功率 Kw
HVCVD-2030	Φ200×300	1500	±5	50	3	25
HVCVD-2540	Φ250×400	1500	±5	50	3	40
HVCVD-3050	Φ300×500	1500	±5	50	3	55
注：以上技術(shù)參數(shù)可根據(jù)工藝進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。