滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔原理是基于菲克定律制作。漏孔是計(jì)量器具,漏率量值溯源到國(guó)家漏率標(biāo)準(zhǔn),均具有經(jīng)國(guó)家實(shí)驗(yàn)室認(rèn)證的計(jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu)的校準(zhǔn)證書。
一.漏率范圍:E-7~E-10(Pa.m3/s)23℃
二.漏孔種類:
1.參考標(biāo)準(zhǔn)漏孔E-8;E-10(Pa.m3/s)23℃
(1)系數(shù)可根據(jù)用戶需要確定
(2)年泄漏率可控制在<2%,其不確定度≤±0.2%,以保證漏率的長(zhǎng)期可靠。
(3)有精確的溫度修正:QT=Qcal296K*(T/296K)*e-2535.5(1/T-1/296)
(4) 用于:a.量值傳遞作為標(biāo)準(zhǔn);b.真空漏率標(biāo)準(zhǔn)之間的互校的參考體;c.監(jiān)視真空漏率標(biāo)準(zhǔn)是否處在狀態(tài)
2.微漏率漏孔:
<5E-9—E-11(Pa.m3/s)23℃
3.大漏率漏孔:
≈1.5E-7(Pa.m3/s)23℃
4.高清潔度型漏孔:
不產(chǎn)生雜峰(因橡膠密封產(chǎn)生的雜質(zhì)譜峰),接口為刀口法蘭。
5.某些數(shù)量級(jí),任意系數(shù)漏孔(E-9,E-10,E-11)。
6.常規(guī)漏孔:1.5E-8(Pa.m3/s)23℃;5E-9(Pa.m3/s)23℃
三.說(shuō)明:
1.常溫下使用不可加熱及制冷降溫法改變漏率以防結(jié)構(gòu)損壞。
2.為保證漏率長(zhǎng)期穩(wěn)定性,漏孔內(nèi)采用玻璃結(jié)構(gòu),防震損。
3.真空密封面不可劃傷,以防漏率失準(zhǔn)。
4.漏孔使用中的溫度修正誤差允許<10%時(shí)按照3%/℃進(jìn)行線性修正
5.接口:漏孔可接入任意形式接口的真空系統(tǒng)。
標(biāo)準(zhǔn)漏孔檢定規(guī)程下載
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