橢偏儀 是一種用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測量儀器。由于測量精度高,與樣品非接觸,對樣品沒有破壞且不需要真空等,適用于超薄膜層測量。
適用于半導(dǎo)體、 介電材料、有機(jī)高分子聚合物、 金屬氧化物、金屬鈍化膜、 自組裝單分子層、多層膜物質(zhì)和 石墨烯等材料。
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、 微電子、 MEMS、通訊、數(shù)據(jù)存儲、光學(xué)鍍膜、 平板顯示器、太陽能光伏、科學(xué)研究、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥等行業(yè)領(lǐng)域。