特點(diǎn) | 規(guī)格 |
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量測(cè) | 厚度, 反射率, 吸收率, 表面結(jié)構(gòu) |
量測(cè)波長(zhǎng) | 632.8 nm(He-Ne 雷射) |
量測(cè)時(shí)間 | 100 ms~2 s |
量測(cè)厚度 | 2 nm~6000 nm |
樣品平臺(tái) | 200 mm (自動(dòng) Rho/Theta) |
反射角檢測(cè) | 自動(dòng) / 手動(dòng) |
角度 | 45° – 90° / 12° – 90° |
變化角度 | 5° / 1° |
重復(fù)性 | 0.01° |
準(zhǔn)確度 | Psi:0.002° Delta:0.002° |
厚度精確度 | 0.01nm( 80nm Si3N4 on Si) |
暫無信息 |