公司介紹：
德國Incoatec公司在基于薄膜技術(shù)的X射線光學(xué)器件方面擁有20年以上的經(jīng)驗(yàn)。Incoatec公司的光學(xué)器件被用于的X射線衍射測量、光譜測定和同步加速器射束線上。主打產(chǎn)品包括用于各種領(lǐng)域和針對微焦點(diǎn)光源方案的多層X射線光學(xué)器件。用新的光學(xué)器件和X射線源來升級X射線分析設(shè)備。計算機(jī)化的光學(xué)器件模擬、各類襯底的生產(chǎn)和薄膜表征使INCOATEC的服務(wù)更為完善，為重工業(yè)，化學(xué)，制藥，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，生命科學(xué)和納米技術(shù)提供解決方案，是可靠，高效和用戶友好型產(chǎn)品，具備德國制造的精髓。
產(chǎn)品介紹：
Incoatec可為光束制導(dǎo)、塑形以及其他光學(xué)實(shí)驗(yàn)使用的同步光學(xué)組件提供薄膜鍍層。Incoatec*的沉積技術(shù)可以進(jìn)行各種材料的單層和多層鍍膜，長度高達(dá)150cm。與合作伙伴一起，我們可以提供很多完整的光學(xué)解決方案。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
低斜率誤差
低粗糙度
高反射率
高穩(wěn)定性和高損傷閾值
主要應(yīng)用：
雙晶多層膜單色器
一維或二維曲面鏡片
全反射光學(xué)組件
2D聚焦，準(zhǔn)直或混合型Montel光學(xué)組件
光柵涂層
Fig.7 The deviation of the desired shape is less than ± 0.2 %.
沉積和表征：
層沉積
我們對多種材料組合的單層和多層鍍膜有豐富的經(jīng)驗(yàn)，我們既可以沉積單層膜條紋，亦可得到在橫向與深度上有不同厚度梯度的最長可達(dá)150cm的多層鍍膜。該涂層的特點(diǎn)是均勻性好，粘附力強(qiáng)，高密度，低粗糙度和高反射率。
Fig.1 Linear sputter coating unit with 4 different target materials
XRR 表征
多層膜參數(shù)，如層厚、密度均勻性、粗糙度、反射率和反差系數(shù)比用Cu-Kα(8048eV)在膜的不同位置用XRR進(jìn)行表征。
Fig.2 The thickness uniformity over 150 cm is better than1%
多層膜的XRR測量
多層鍍膜由 X 射線反射法（XRR）檢測。通過對一階Bragg 峰的定量分析，可測定大反射率、積分強(qiáng)度與能量分辨率。
通過 XRR 測量，可對鍍層的界面粗糙度與材料密度進(jìn)行推演以獲得盡可能明晰和平滑的界面，同時也是為了在單層之間獲得的密度差。布拉格峰角度可以用來計算雙層厚度周期，這就是所謂的d值。
Fig.3 Laterally Graded Multilayer Optics: The film thickness variation along the substrate and the ideal and acceptable thickness gradients are shown.
應(yīng)用介紹：
全反射鏡片
全反射鏡在同步輻射射束線站上被用于射束的引導(dǎo)和準(zhǔn)直。此類鏡片用于 X 射線掠入射。因此需要越來越多的長度100cm甚至更長的光學(xué)鏡片。
Fig.4 Various mirror substrates: 50 cm fused silica, 60 cm Zerodur®, 100 cm silicon
Fig.5 Stripe coating on a 50 cm silicon substrate
多層膜光學(xué)組件
這些光學(xué)組件包含多層薄膜，達(dá)到只有幾納米厚的單層膜都是非晶。多層膜可能有幾百層，如果材料有高密度差同時有低吸收率，X 射線相關(guān)的兩個參數(shù)吸收和色散依賴 X 射線波長。所以要達(dá)到優(yōu)異效果，每種波長都需要特定的多層膜。為了滿足客戶特殊要求，我們可以進(jìn)行 X 射線光學(xué)模擬。就可獲得高反射率。
Fig.6 Bendable 400 mm silicon multilayer optics
雙晶體多層膜單色器
在成像用射束線站中，多層膜光學(xué)組件常被用作雙晶體多層單色器（DCMM）。例如，斷層掃面中，一個均勻和穩(wěn)定的光束輪廓是必需的，以便進(jìn)行背景校正。但由于輻射的強(qiáng)干擾性，在設(shè)計光學(xué)組件的時候須特別謹(jǐn)慎以避免光束質(zhì)量退化。我們生產(chǎn)的多層鍍膜，可含多至5種條紋，薄膜不均勻度低于0.2%且厚度具有橫向梯度。
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