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北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

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X射線分辨率測(cè)試卡

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)XRESO系列

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

更新時(shí)間:2021-06-29 17:38:00瀏覽次數(shù):837次

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X射線分辨率測(cè)試卡

公司介紹:

NTT-AT有著多年的X射線、極紫外光學(xué)配件的研發(fā)與銷(xiāo)售經(jīng)驗(yàn)。在范圍內(nèi),通過(guò)與眾多來(lái)自同步輻射科學(xué),阿秒科學(xué),高強(qiáng)度物理學(xué)等領(lǐng)域的科學(xué)研究者開(kāi)展緊密合作,積累了大量*的設(shè)計(jì)與制造技術(shù),其產(chǎn)品在業(yè)內(nèi)享有很高的評(píng)價(jià)。NTT-AT提供的菲涅爾波帶片有著高分辨率,高聚光效率等特點(diǎn),適合被各種輻射光設(shè)施使用。另外,分辨率測(cè)試卡被當(dāng)作業(yè)界的標(biāo)準(zhǔn)。不只是學(xué)術(shù)研究,在X射線的檢查裝置開(kāi)發(fā)現(xiàn)場(chǎng)也被廣泛使用。XUV鏡片,XUV濾波片不僅對(duì)阿秒科學(xué)有著幫助,對(duì)下一代的光刻研究也有這重要作用。NTT-AT將在XUV,EUV, X線領(lǐng)域給予客戶在研發(fā)上的幫助。

產(chǎn)品介紹:

用于X射線分析的分辨率評(píng)估圖的事實(shí)上的標(biāo)準(zhǔn)

優(yōu)點(diǎn)

恩梯梯技術(shù)公司的X射線分辨率評(píng)估圖被應(yīng)用于X射線顯微鏡、X射線微光束分析和X射線成像等需要超高分辨率的X射線分析。此已成為事實(shí)上標(biāo)準(zhǔn)的X射線圖被廣泛應(yīng)用于世界上許多地方。
恩梯梯技術(shù)公司的X射線圖的特點(diǎn)是高耐X射線輻射性、超清晰圖案和低邊緣粗糙度。本公司基于Ta吸收體圖的SiC膜極其精確,能為用戶的X射線分析系統(tǒng)評(píng)估提供清晰的圖像。
您不嘗試一下這事實(shí)上標(biāo)準(zhǔn)的性能嗎?


特點(diǎn):

有三種X射線圖可應(yīng)用于各種方面:標(biāo)準(zhǔn)型、高分辨率和高對(duì)比度型以及超高分辨率型??蔀橛脩舻南到y(tǒng)定制圖案布局和基板尺寸。


有三種X射線圖可應(yīng)用于各種方面:標(biāo)準(zhǔn)型、高分辨率和高對(duì)比度型以及超高分辨率型??蔀橛脩舻南到y(tǒng)定制圖案布局和基板尺寸。

規(guī)格

項(xiàng)目標(biāo)準(zhǔn)型
XRESO-100
高分辨率型
帶較厚Ta
吸收體
XRESO-50HC
新??!
超高分辨率
XRESO-20
基板材料、尺寸Si 10平方毫米
厚度1毫米1毫米0.625毫米
材料、
厚度
Ru 20納米
SiN 2微米
Ru 20納米
SiC 200納米
SiN 50納米
Ru 20納米
SiC 200納米
SiN 50納米
區(qū)域1平方毫米1平方毫米1平方毫米
對(duì)齊基板中間基板中間基板中間
圖案吸收體、
厚度
Ta 1微米Ta 500納米Ta 100納米
最小圖案
尺寸
100納米50納米20納米
放射形圖案
圖案區(qū)域250微米×350微米300平方微米300平方微米



X-ray_chart_01
X射線圖(高分辨率圖)的略圖


恩梯梯技術(shù)公司的已成為事實(shí)上標(biāo)準(zhǔn)的X射線分辨率評(píng)估圖在世界上被用于企業(yè)、大學(xué)和研究所。

  • 超高分辨率型 XRESO-20

XRESO-20是具有20納米最小圖案寬度的超高分辨率評(píng)估圖。2014年開(kāi)始銷(xiāo)售的此高規(guī)格型號(hào)最近被應(yīng)用于超高分辨率X射線成像系統(tǒng)。

圖的SEM圖像圖案布局
100納米孔

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

①放射形圖案

③④孔圖案

⑤⑥⑦⑧L&S圖案

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

50納米孔
北京眾星聯(lián)恒科技有限公司
20納米圖案20納米放射形圖案
北京眾星聯(lián)恒科技有限公司北京眾星聯(lián)恒科技有限公司


  • 超高分辨率型 XRESO-20

XRESO-20是具有20納米最小圖案寬度的超高分辨率評(píng)估圖。2014年開(kāi)始銷(xiāo)售的此高規(guī)格型號(hào)最近被應(yīng)用于超高分辨率X射線成像系統(tǒng)。


圖案布局
X-ray_chart_1.jpg


  • 帶較厚吸收體的高分辨率型 XRESO-50HC

XRESO-50HC提供成本合理的50納米高分辨率。其已被應(yīng)用于X射線微光束輻射、X射線顯微鏡和X射線相干成像等各種用途。

圖的SEM圖像圖案布局
放射形圖案
相應(yīng)于圖案布局的點(diǎn)(1)
北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

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50納米 L&S
相應(yīng)于圖案布局的點(diǎn)(2)
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