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高純電子混合氣和超純氣體

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產(chǎn)品簡介

國家科技重大專項(xiàng)02專項(xiàng)—“高純電子氣體研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化"課題

詳細(xì)介紹

國家科技重大專項(xiàng)02專項(xiàng)—“高純電子氣體研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化"課題。目前產(chǎn)品已研制成功研制出10種電子混合氣體，各項(xiàng)指標(biāo)達(dá)到用戶技術(shù)要求，形成每年10000瓶以上電子混合氣供貨和氣體配送能力，滿足極大規(guī)模集成電路的要求。
電子混合氣技術(shù)指標(biāo)如下：

混合氣體	指標(biāo)
0.52%N₂/He	6N/6N
1% O₂/Ar	6N/6N
10% CH₄/Ar	6N/6N
5% H₂/He	6N/6N
4% H₂/N₂	6N/6N
0.5% O₂/He	6N/6N
1.25% Kr/Ne	6N/6N
1.2% He/N₂	6N/6N
3.5% Ar/10ppmXe/Ne	6N/6N/6N
30% O₂/He	6N/6N
1.0%F2/1.25%Kr/Ne
1.0%F2/3.5%Ar/Ne
10%F2/N₂

超高純氣體（6N）：N2、O2、H2、He、Ne 、Ar、CH4。

氣體品種	純度	容器規(guī)格（L）	充裝壓力（MPa）
He	6N	40/47	13.5
Ar	6N	40/47	13.5
Ne	6N	40/47	13.5
H₂	6N	40/47	13.5
N₂	6N	40/47	13.5
O₂	6N	40/47	13.5
Kr	6N	40/47	13.5
Xe	6N	40/47	13.5

高純氣體：He、Ar、H2、N2、O2、CO2、CH4

氣體品種	純度	容器規(guī)格（L）	充裝壓力（MPa）
He	≥99.999%	40	13.5
Ar	≥99.999%	40	13.5
H₂	≥99.999%	40	13.5
N₂	≥99.999%	40	13.5
O₂	≥99.999%	40	13.5
CO₂	≥99.999%	40	15kg
CH₄	≥99.99%	40	13.5