ESDP變螺距干式螺桿真空泵
- ESDP variable pitch dry screw vacuum pump
ESDP干式螺桿真空泵使用了*的螺桿轉(zhuǎn)子型線，動力節(jié)省30%，排氣溫度低，工藝穩(wěn)定，干式螺桿泵產(chǎn)品適用于各種領(lǐng)域的真空工藝，也維持了z u i 佳的真空效率和耐用性。ESDP系列不使用油和水，用可變壓縮方式操作，水蒸氣和液態(tài)混合工藝，非常適合干燥，溶劑回收，化工，制藥，塑料等各種真空工藝。
特點
■優(yōu)點及特征
1.吸入效率(提升15%)。
2.排氣效率改善(2級可變，連續(xù)可變頻率)。
3.極限壓力：1*10-2Torr(托)。
4.排氣溫度降低50%。
5.電力消耗減少30%。
6.不使用油和水，不會造成油和水的污染。
7.低功耗、低噪音、低振動，動平衡好，沒有慣性力，可高速運行。
8.設(shè)計結(jié)構(gòu)簡單，易保養(yǎng)，維修費用低，壽命長。
9.適用范圍廣，具有高真空性能。
10.使用壽命長，氣體接觸部位都具有聚四氟乙烯、鎳和哈氏合金涂層(部分工藝可選用特種材質(zhì)解決腐蝕問題)。
11.唇型密封和機械密封等多種密封方式，滿足不同的工藝應(yīng)用。
12.前后采用稀有潤滑方式，提高軸承耐用性。
■ 概述
極限壓力*無油無水
使用了*的螺桿轉(zhuǎn)子型線，動力節(jié)省30%，排氣溫度低，工藝穩(wěn)定，干式螺桿泵產(chǎn)品適用于各種領(lǐng)域的真空工藝，也維持了**佳的真空效率和耐用性。
ESDP系列不使用油和水，用可變壓縮方式操作，水蒸氣和液態(tài)混合工藝，非常適合干燥，溶劑回收，化工，制藥，塑料等各種真空工藝。
典型應(yīng)用
■ 應(yīng)用范圍
●ESDP系列在半導(dǎo)體合成及液晶生產(chǎn)上的應(yīng)用，主要有半導(dǎo)體等離子增強氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝，液晶生產(chǎn)蝕刻制程和生產(chǎn)TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0，以保護工件免受污染。
● 在石油化工中，主要是抽取可凝性氣體，或有毒氣體，或腐蝕性氣體，或含有微塵的氣體。
●制藥行業(yè)，用于藥物的真空干燥，藥物中間體回收，回收氣體消毒劑，為人造器官提供清潔無菌條件等。
●化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工藝
●工業(yè)排氣;集中式真空處理系統(tǒng)
●擠出機的混合工藝及板材的排氣工藝
●混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生產(chǎn)中用于消除水污染，及噴射器中的阻塞物
●食品行業(yè)用于香料、香精濃縮，食品包裝等。
■ 技術(shù)參數(shù)
型號 | 抽氣量 | 極限壓力 | 電機功率 | 轉(zhuǎn)速 | 進氣 | 排氣 | 冷卻水量 | 噪聲 | 重量 |
M3/h | Pa | KW | rpm | mm | mm | L/min | dB | Kg |
ESDP320 | 260 | 1.33 | 7.5 | 2900 | 65 | 50 | 10 | 80 | 320 |
ESDP430 | 360 | 1.33 | 11 | 2900 | 65 | 50 | 12 | 80 | 380 |
ESDP650 | 540 | 1.33 | 15 | 2900 | 80 | 65 | 12 | 80 | 580 |
ESDP900 | 750 | 1.33 | 18.5 | 2900 | 100 | 65 | 20 | 80 | 680 |
ESDP1500 | 1400 | 1.33 | 37 | 2900 | 125 | 80 | 30 | 82 | 950 |
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■ 標(biāo)準(zhǔn)配件
基座和防護罩
排氣消聲器及進氣分離器
吸氣口
止回閥
真空計
■ 可選配件
吸濾器
排氣冷凝器
吸入式氣液分離器
流量開關(guān)及溫度開關(guān)
