污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
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更新時間：2022-08-01 11:28:20瀏覽次數(shù)：297次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線應(yīng)用范圍：可滿足大多數(shù)應(yīng)用需求，適合大批量生產(chǎn)，也能滿足實(shí)驗(yàn)室要求。?? 基板表面清洗? 晶圓表面污染物去除? BGA植球前清洗? 改善金球焊接? 改善壓膜分層? 改善倒裝焊底部填充? 掩膜去除? 環(huán)氧樹脂去除（包含SU-8）? 改善塑封/封膠
Wafer封裝等離子清洗機(jī)是一款針對從wafer制造的高效率光刻膠去除工藝到芯片封裝領(lǐng)域的等離子清洗工藝 ，適用于wafer清洗及芯片封裝批理生產(chǎn)的多功能設(shè)備，滿足客戶需求。
產(chǎn)品規(guī)格
型號 | JL-IVM-010 | JL-IVM-020 |
外形尺寸MM | 700(L)*700(W)*1500(H) | 750(L)*1200(W)*1650(H) |
腔尺寸 MM | 330(L)*330(W)*460(H)（50L） | 400(L)*500(W)*650(H)（130L） |
腔體材質(zhì) | 鋁/不銹鋼 | 鋁/不銹鋼 |
等離子發(fā)生器 | 13.56MHz，600W 可調(diào) | 13.56MHz，1000W 可調(diào) |
真空度 | 5~30Pa | 5~30Pa |
氣體通道 | 2路（選配4路） | 2路（選配4路） |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 |
真空泵 | 真空泵 | 真空泵+羅茨泵 |
控制方式 | PLC+人機(jī) | PLC+人機(jī) |
質(zhì)量流量計 | 2個（選配4個） | 2個（選配4個） |
壓縮空氣 | 0.3~0.6MPa | 0.3~0.6MPa |
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